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Europäisches Patentamt

DEVICE AND METHOD FOR MEASURING A SURFACE TOPOGRAPHY, AND CALIBRATION METHOD | VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM VERMESSEN EINER FLÄCHENTOPOGRAFIE SOWIE KALIBRIERVERFAHREN | DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE D'UNE TOPOGRAPHIE DE SURFACE AINSI QUE PROCÉDÉ D'ÉTALONNAGE

Patentnummer:EP3440427B1
IPC Hauptklasse:G01B001125
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
73447, Oberkochen, DE
Erfinder:Glasenapp, Carsten (0)
73447, Oberkochen, DE
Anmeldung:07.04.17
Offenlegung:08.04.16
Patenterteilung:26.06.19

Abstract / Hauptanspruch
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung (10) für das Vermessen der Topografie und/oder der Gradienten und/oder der Krümmung einer optisch wirksamen Fläche (18) eines Gegenstands (12). Die Vorrichtung (10) ermöglicht das Anordnen des Gegenstands (12) in einem Aufnahmebereich (14) mit einer an den Gegenstand (12) anlegbaren Anlage (17). In der Vorrichtung (10) gibt es eine Vielzahl von Punktlichtquellen (20), die Licht bereitstellen, das an der zu vermessenden Fläche (18) eines in dem Aufnahmebereich (14) angeordneten Gegenstands reflektiert wird. Die Vorrichtung (10) weist wenigsten eine Kamera (34) mit einer Objektivbaugruppe (40) und mit einem Bildsensor (46) für das Erfassen einer Helligkeitsverteilung auf, die von dem an der zu vermessenden Fläche (18) reflektierten Licht der Punktlichtquellen (20) auf einem Bildsensor (46) hervorgerufen wird.

The invention relates to a method and a device (10) for measuring the topography and/or the gradients and/or the curvature of an optically active surface (18) of an object (12). The device (10) allows the object (12) to be arranged in a receiving region (14) having a contact surface (17) for contact with the object (12). Inside the device (10), there is a plurality of point light sources (20) that provide light which is reflected at the surface (18) to be measured of an object arranged in the receiving region (14). The device (10) comprises at least one camera (34) having an objective assembly (40) and an image sensor (46) for detecting a brightness distribution which is produced on a light sensor (46) by the light of the point light sources (20) reflected at the surface (18) to be measured.

La présente invention concerne un procédé et un dispositif (10) permettant de mesurer la topographie et/ou les gradients et/ou la courbure d'une surface optiquement active (18) d'un objet (12). Le dispositif (10) permet de placer l'objet (12) dans une zone de prise d'image (14) avec une installation (17) pouvant être déposée contre l'objet (12). Le dispositif (10) comprend une pluralité de sources de lumière ponctuelles (20), qui fournissent une lumière qui est réfléchie par la surface à mesurer (18) d'un objet disposé dans la zone de prise d'image (14). Le dispositif (10) comprend au moins une caméra (34) ayant un ensemble d'objectifs (40) et un capteur d'images (46) pour la détection d'une distribution de luminosité qui est provoquée, sur un capteur d'image (46), par la lumière des sources de lumière ponctuelles (20) qui est réfléchie sur la surface à mesurer (18).

EP3440427B1


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