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Anmelder = KLA-Tencor MIE GmbH


Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift
Erteilung (Frist)
Anmelder
Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
DE102008037465B4
19.06.19 (102)
Verfahren zur Bestimmung der Position von Materialkanten auf einer Maske für die Halbleiterherstellung
KLA-Tencor MIE GmbH
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