Anmelder = Precitec Optronik GmbH

Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift Erteilung (Frist)		Anmelder Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
	US10571249B1 25.02.20 (65)	Optical measuring device and method Precitec Optronik GmbH
	DE102012102826B4 26.03.20 (96)	Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen einer Tiefe einer Region, die ein hohes Aspektverhältnis aufweist und in eine Oberfläche eines Halbleiterwafers hineinragt | Apparatus and method for determining a depth of a region which has a high aspect ratio and projects into a surface of a semiconductor wafer Precitec Optronik GmbH