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Anmelder = Precitec Optronik GmbH


Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift
Erteilung (Frist)
Anmelder
Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
US10571249B1
25.02.20 (183)
Optical measuring device and method
Precitec Optronik GmbH
DE102012102826B4
26.03.20 (214)
Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen einer Tiefe einer Region, die ein hohes Aspektverhältnis aufweist und in eine Oberfläche eines Halbleiterwafers hineinragt | Apparatus and method for determining a depth of a region which has a high aspect ratio and projects into a surface of a semiconductor wafer
Precitec Optronik GmbH
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