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Anmelder = ZYGO CORPORATION


Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift
Erteilung (Frist)
Anmelder
Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
EP3169969B1
19.06.19 (61)
INTERFEROMETRIC ENCODERS USING SPECTRAL ANALYSIS | INTERFEROMETRISCHE CODIERER MIT VERWENDUNG VON SPEKTRALANALYSE | CODEURS INTERFÉROMÉTRIQUES UTILISANT UNE ANALYSE SPECTRALE
ZYGO CORPORATION
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EP3207339B1
24.07.19 (97)
INTERFEROMETRIC ENCODER SYSTEMS | INTERFEROMETRISCHE ENCODER-SYSTEME | SYSTÈMES DE CODEUR INTERFÉROMÉTRIQUE
ZYGO CORPORATION
US10451413B2
22.10.19 (186)
Surface topography apparatus and method
ZYGO CORPORATION
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