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Anmelder = Fogale Nanotech, 30900 Nîmes


Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift
Erteilung (Frist)
Anmelder
Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
EP3228979B1
15.01.20 (194)
INTEGRATED CHROMATIC CONFOCAL SENSOR | INTEGRIERTER CHROMATISCHER KONFOKALER SENSOR | CAPTEUR CONFOCAL CHROMATIQUE INTÉGRÉ
Fogale Nanotech, 30900 Nîmes
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EP3222965B1
15.01.20 (194)
CHROMATIC CONFOCAL DEVICE AND METHOD FOR 2D/3D INSPECTION OF AN OBJECT SUCH AS A WAFER WITH VARIABLE SPATIAL RESOLUTION | CHROMATISCHE KONFOKALE VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR 2D/3D-INSPEKTION EINES OBJEKTS WIE ETWA EINES WAFERS MIT VERÄNDERLICHER RÄUMLICHER AUFLÖSUNG | DISPOSITIF ET PROCÉDÉ CONFOCAL CHROMATIQUE AVEC RÉSOLUTION SPATIALE VARIABLE POUR L'INSPECTION EN 2D/3D D'UN OBJET TEL QU'UNE PLAQUETTE
Fogale Nanotech, 30900 Nîmes
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EP3222964B1
15.01.20 (194)
CHROMATIC CONFOCAL DEVICE AND METHOD FOR 2D/3D INSPECTION OF AN OBJECT SUCH AS A WAFER | CHROMATISCHE KONFOKALE VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR 2D/3D-INSPEKTION EINES OBJEKTS WIE ETWA EINES WAFERS | DISPOSITIF ET PROCÉDÉ CONFOCAL CHROMATIQUE POUR L'INSPECTION 2D/3D D'UN OBJET TEL QU'UNE PLAQUETTE
Fogale Nanotech, 30900 Nîmes
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