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Anmelder = NIKON CORPORATION


Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift
Erteilung (Frist)
Anmelder
Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
EP2535923B1
17.06.20 (10)
DETECTION METHOD AND DETECTION DEVICE | ERKENNUNGSVERFAHREN UND ERKENNUNGSVORRICHTUNG | PROCÉDÉ DE DÉTECTION ET DISPOSITIF DE DÉTECTION
NIKON CORPORATION
US10718606B2
21.07.20 (45)
Determination of customized components for fitting wafer profile
NIKON CORPORATION
US10753732B2
25.08.20 (79)
Determination of operability of a digital scanner with shearing interferometry
NIKON CORPORATION
US10777441B2
15.09.20 (100)
Measurement system, substrate processing system, and device manufacturing method
NIKON CORPORATION
US10837763B2
17.11.20 (163)
Optical assembly, method for producing data in the same, and method for manufacturing structure
NIKON CORPORATION
US10845191B2
24.11.20 (170)
System and method for a displacement measurement
NIKON CORPORATION
EP2093536B1
20.01.21 (227)
MESSANORDNUNG UND MESSVERFAHREN | DISPOSITIF DE MESURE ET PROCÉDÉ DE MESURE | MEASUREMENT DEVICE AND MEASUREMENT METHOD
NIKON CORPORATION
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