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Anmelder = Vistec Semiconductor Systems GmbH


Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift
Erteilung (Frist)
Anmelder
Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
DE102007000981B4
30.07.20 (185)
Vorrichtung und Verfahren zum Vermessen von Strukturen auf einer Maske und zur Berechnung der aus den Strukturen resultierenden Strukturen in einem Photoresist | Device and method for measuring structures on a mask and for calculating the structures resulting from the structures in a photoresist
Vistec Semiconductor Systems GmbH
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