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Europäisches Patentamt

Optisches Verschiebungsmeßsystem

Patentnummer:DE19930687B4
IPC Hauptklasse:G01B001100
Anmelder:
Erfinder:Akihiro, Kuroda (0)
Tokio/Tokyo, JP
Anmeldung:02.07.99
Offenlegung:02.07.98
Patenterteilung:05.01.17

Abstract / Hauptanspruch
Optisches Verschiebungsmeßsystem aufweisend:
ein Beugungsgitter (11) zum Beugen eines kohärenten Strahls (La), das so ausgebildet ist, daß es in Richtungen relativ zu dem kohärenten Strahl (La) und parallel zu einem Gittervektor bewegbar ist;
eine Lichtemissionsvorrichtung (12) zum Emittieren eines kohärenten Lichtstrahls (La);
ein optisches Bestrahlungssystem (15) in Form der kohärentes Licht emittierenden Lichtemissionsvorrichtung (12), zweier Reflektoren (23, 24) sowie eines halbdurchlässigen Spiegels (22) zum Aufteilen des kohärenten Lichtstrahls (La), der von der Lichtemissionsvorrichtung (12) emittiert wird, in zwei erste kohärente Lichtstrahlen (La1, La2) und zum Bestrahlen des Beugungsgitters (11) mit jedem der ersten kohärenten Strahlen (La1, La2) mit einer ersten Fokussiereinrichtung (21) zum Fokussieren der zwei kohärenten Strahlen (La1, La2) auf die Gitterebene des Beugungsgitters (11), wobei das optische Bestrahlungssystem so geartet ist, daß das Beugungsgitter (11) mit jedem der beiden ersten kohärenten Lichtstrahlen (La1, La2) bestrahlt wird aus einer Richtung, die nicht senkrecht zu der Gitterebene ist;
ein optisches Interferenzsystem (16), das so ausgebildet ist, daß zwei am Beugungsgitter (11) erhaltene gebeugte Lichtstrahlen (Lb 1, Lb2) miteinander interferieren mit einem halbdurchlässigen Spiegel (27) und mit einer zweiten Fokussiereinrichtung (28) zum Fokussieren der zwei gebeugten Strahlen (Lb1, Lb2) auf eine Lichtempfangsebene (13a) einer Lichtempfangsvorrichtung (13), wobei die Lichtempfangsvorrichtung (13) zum Empfangen der gebeugten miteinander interferierenden Strahlen (Lb1, Lb2) und zum Erfassen eines Interferenzsignals dient; und
eine Stellungserfassungsvorrichtung (14) zum Bestimmen der Position des relativ bewegten Beugungsgitters (11) aus der Phasendifferenz zwischen den gebeugten Strahlen (Lb 1, Lb2) welche aus dem durch die Lichtempfangsvorrichtung (13) gemessenen Interferenzsignal ermittelt wird;
dadurch gekennzeichnet, daß
die Lichtemissionsvorrichtung (12) einen Multimode-Halbleiter-Laser umfasst mit einer Kohärenzlänge von einem ganzzahligen Vielfachen von hundert Mikrometern, wodurch die Längenunterschiede der optischen ...

DE19930687B4


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