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Europäisches Patentamt

Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der Topologie einer Grenzfläche einer transparenten Substanz

Patentnummer:DE102011050518B4
IPC Hauptklasse:G01B001126
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:20.05.11
Offenlegung:20.05.11
Patenterteilung:19.01.17

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zum Bestimmen der Topologie (1) einer Grenzfläche (7) einer transparenten Substanz (2) über einer Referenzoberfläche (3), wobei durch die Grenzfläche (7) und die transparente Substanz (2) hindurch ein zweidimensionales Bild eines zweidimensionalen Musters aufgenommen wird und wobei das Bild mit einem Referenzbild verglichen wird, um aus Relativverschiebungen von Bildpunkten auf eine Höhe der Grenzfläche (7) der Substanz (2) über der Referenzoberfläche (3) zu schließen, dadurch gekennzeichnet, dass neben den Relativverschiebungen der Bildpunkte ein Gradient der Relativverschiebungen der Bildpunkte verwendet wird, um daraus zusammen mit der Höhe der Grenzfläche (7) der Substanz (2) über der Referenzoberfläche (3) eine Neigung der Grenzfläche (7) der Substanz (2) gegenüber der Referenzoberfläche (3) zu bestimmen.

DE102011050518B4


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