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Europäisches Patentamt

CHROMATIC ALTIMETRY CONVERTER | CHROMATISCHER HÖHENMESSWANDLER | CONVERTISSEUR CHROMATIQUE D'ALTIMÉTRIE

Patentnummer:EP2852815B1
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:21.05.13
Offenlegung:21.05.12
Patenterteilung:04.01.17

Abstract / Hauptanspruch
The present invention relates to a chromatic converter for altimetry, intended to produce a real and complete image of a preset observation zone of a sample surface that is representative of the local height of the sample, the converter especially comprising: (i) a device for illuminating the sample, comprising at least one polychromatic light source; and (ii) a mask allowing N incident beams to be generated simultaneously from the polychromatic light, each incident beam defining one object point. The illuminating device is arranged in order to cover at any moment all of the preset observation zone, whereas the mask is arranged in such a way that it blocks a portion of the polychromatic light in order to allow only the N incident beams to pass, the latter defining object points that are distributed over substantially the entire extent of the observation zone. An Offner autocollimator comprising at least one Mangin mirror is employed to introduce axial chromaticity into the incident beams.

La présente invention concerne un convertisseur chromatique d'altimétrie destiné à réaliser une image réelle et complète d'une zone d'observation prédéfinie de la surface d'un échantillon, représentative de la hauteur locale de cet échantillon, le convertisseur comportant notamment : (i) un dispositif d'illumination de l'échantillon comprenant au moins une source de lumière polychromatique, (ii) un masque permettant de générer simultanément N faisceaux incidents à partir de la lumière polychromatique, chaque faisceau incident définissant l'un des points objets. Le dispositif d'illumination est agencé de manière à couvrir à chaque instant l'ensemble de la zone d'observation prédéfinie, tandis que le masque est agencé de telle manière qu'il occulte une portion de la lumière polychromatique pour ne laisser passer que les N faisceaux incidents, ceux-ci définissant les points objets répartis sensiblement dans toute l'étendue de la zone d'observation. Un autocollimateur d'Offner comportant au moins un miroir de Mangin est mis en œuvre pour introduire du chromatisme axial dans les faisceaux incidents.

EP2852815B1


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