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Europäisches Patentamt

OPTICAL POSITION MEASURING DEVICE | OPTISCHE POSITIONSMESSEINRICHTUNG | DISPOSITIF DE MESURE DE POSITION OPTIQUE

Patentnummer:EP2286185B1
IPC Hauptklasse:G01D000538
Anmelder:Dr. Johannes Heidenhain GmbH (0)
83301, Traunreut, DE
Erfinder:Benner, Ulrich (0)
Trostberg, DE
Anmeldung:31.03.09
Offenlegung:31.05.08
Patenterteilung:25.01.17

Abstract / Hauptanspruch
Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Relativposition einer Abtasteinheit sowie einer hierzu in mindestens einer Messrichtung beweglichen Maßverkörperung. Die Abtasteinheit. Die Abtasteinheit umfasst in einer ersten Variante eine Lichtquelle, mindestens ein Abtastgitter, eine Detektoranordnung sowie eine Dämpfungsstruktur, über die die Lichtintensität auf der Detektoranordnung gezielt einstellbar ist. Das Abtastgitter und die Dämpfungsstruktur sind auf der Vorder- und Rückseite eines transparenten Trägerelements im Abtaststrahlengang angeordnet. In einer zweiten Variante umfasst die Abtasteinheit eine Lichtquelle, eine Detektoranordnung sowie eine Dämpfungsstruktur. Die Dämpfungsstruktur besitzt eine mindestens in einer Richtung ortsabhängig variierende Durchlässigkeit, so dass auf der Detektoranordnung eine zumindest in dieser Richtung gleichmäßige Lichtintensität resultiert.

The present invention relates to an optical position measuring device for detecting a relative position of a scanning unit, and a material measure that can be moved for this purpose in at least one measuring direction. In a first variant, the scanning unit comprises a light source, at least one scanning grating, a detector arrangement, and an attenuation structure, by means of which the light intensity on the detector arrangement can be specifically set. The scanning grating and the attenuation structure are disposed on the front and rear sides of a transparent carrier element in the scanning beam path. In a second variant, the scanning unit comprises a light source, a detector arrangement, and an attenuation structure. The attenuation structure has a perviousness that varies at least in one direction as a function of the location such that a light intensity results that is uniform at least in said direction on the detector arrangement.

La présente invention concerne un dispositif de mesure de position optique permettant de détecter la position relative d'une unité d'exploration et un étalon échelle pouvant se déplacer par rapport à cette unité dans au moins une direction de mesure. Ladite unité comprend selon une première variante: une source lumineuse, au moins un réseau d'exploration, un système de détection et une structure d'amortissement, par l'intermédiaire de laquelle l'intensité lumineuse frappant le système de détection peut être réglée sélectivement. Le réseau d'exploration et la structure d'amortissement se trouvent sur le côté avant et le côté arrière d'un élément support transparent, sur le passage du rayonnement d'exploration. Selon une seconde variante, l'unité d'exploration comprend: une source lumineuse, un système de détection et une structure d'amortissement. Cette structure présente une translucidité variable dans au moins une direction selon l'emplacement, de sorte que l'on obtient sur le système de détection une intensité lumineuse uniforme au moins dans cette direction (figure 4b).

EP2286185B1


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