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Europäisches Patentamt

Vorrichtung und Verfahren zum Vermessen einer Flächentopografie

Patentnummer:DE102013208091B4
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
73447, Oberkochen, DE
Carl Zeiss Vision International GmbH (0)
73430, Aalen, DE
Erfinder:Glasenapp, Carsten (0)
73447, Oberkochen, DE
Anmeldung:02.05.13
Offenlegung:02.05.13
Patenterteilung:09.05.19

Abstract / Hauptanspruch
Vorrichtung (310) für das Vermessen der Topografie und/oder des Gradienten und/oder der Krümmung einer optisch wirksamen Fläche (320) eines Gegenstands (312)
mit einer Einrichtung zum Anordnen des Gegenstands in einem Aufnahmebereich (314), in dem die Lage wenigstens eines Punktes auf der Fläche des Gegenstands in einem vorrichtungsfesten Koordinatensystem ermittelbar ist;
mit einer Vielzahl von Punktlichtquellen (318), die Licht bereitstellen, das an der zu vermessenden Fläche (320) eines in dem Aufnahmebereich angeordneten Gegenstands (312) reflektiert wird, wobei die Punktlichtquellen von jedem innerhalb des Aufnahmebereichs (314) liegenden Punkt aus gesehen über einen Raumwinkel Ω verteilt sind, der im Bogenmaß gemessen folgender Beziehung genügt: Ω ≥ π sr, vorzugsweise Ω ≥ 90% × 2π sr, und mit wenigstens einer Kamera (324) für das Erfassen einer Helligkeitsverteilung, die von dem an der zu vermessenden Fläche (320) reflektierten Licht der Punktlichtquellen (318) auf einem Bildsensor hervorgerufen wird;
gekennzeichnet durch
eine als eine Feldlinse wirkende zwischen der Kamera (324) und dem Aufnahmebereich (314) angeordneten Optikbaugruppe (316) positiver Brechkraft, die dazu dient, das Licht der Punktlichtquellen (318) zu einem in dem Aufnahmebereich (314) angeordneten Gegenstand (312) zu lenken und das an dem Gegenstand (312) reflektierte Licht der Kamera (324) zuzuführen.

DE102013208091B4


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