patentverein.de - Patente
Patentethik
Überwachung
Beispielhaft
Trivial
Kurios
Unverständlich
Zurück Original-Dokument
Europäisches Patentamt

Verfahren und Vorrichtung zur Fehlerermittlung und Fehlerkompensation eines inkrementellen Sensors

Patentnummer:DE102013217216B4
IPC Hauptklasse:G01D0005244
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:28.08.13
Offenlegung:28.08.13
Patenterteilung:09.05.19

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zur Ermittlung und Kompensation von Messwertungenauigkeiten, im Sinne von periodischen Fehlern eines Interferometers, dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren zur Feststellung von Messwertungenauigkeiten umfasst, dass eine virtuelle Verschiebung des Interferometers, die von diesem Interferometer gemessen wird, jeweils nicht mit der Signalperiode des Interferometers korreliert ist, sodass gemessene periodische Schwankungen nicht der Verschiebung, sondern den periodischen Ungenauigkeiten des Interferometers zuzuordnen und somit ermittelt sind und dann kompensiert werden können, mit den Schritten:
Erzeugen einer virtuellen Verschiebung, wobei die virtuelle Verschiebung erzeugt wird, indem das Interferenzmuster des Interferometers durch eine durch Ansteuern einer Steuereinheit veranlasste Variation der Wellenlänge der Interferometerwelle relativ gegenüber mindestens einem Detektor des Interferometers wandert, was von der Messeinheit als Bewegung interpretiert werden kann, wobei eine diskrete Verschiebung einer Bewegung gemäß einem Schritt mit einer gewissen Schrittweite entspricht,
Aufnehmen von durch die Verschiebung beeinflussten Sensordaten über das zu kalibrierende Interferometer, wobei auf Basis des wandernden Interferenzmusters die virtuelle Bewegung gemessen wird,
Bestimmen von mit der Periode des Interferometers korrelierten, periodischen Schwankungen in aus den mit dem zu kalibrierenden Interferometer aufgenommenen Sensordaten bestimmten Ergebnissen,
Zuordnen der ermittelten korrelierten, periodischen Schwankungen als Fehler des Interferometers und
Kompensieren der periodischen Fehler des Interferometers auf Basis der bestimmten Korrelation in der Weise, dass der von der Position innerhalb des Inkrements abhängige Fehler korrigiert wird oder zu mindestens reduziert wird, indem der ermittelte Fehler, bzw. Fehlerverlauf mit den Messdaten verrechnet wird.

DE102013217216B4


Kommentare zu diesem Patent schicken Sie bitte an .
Datenschutzerklärung