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Europäisches Patentamt

Verfahren und Anordnung zur robusten, tiefenscannenden/fokussierenden Streifen-Triangulation

Patentnummer:DE102017004429B4
IPC Hauptklasse:G01B001125
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:08.05.17
Offenlegung:08.05.17
Patenterteilung:09.05.19

Abstract / Hauptanspruch
Anordnung zur tiefenscannenden Streifen-Triangulation mit strukturierter Beleuchtung zur strukturierten Beleuchtung mindestens eines Messobjekts (6, 61, 62, 63), wobei die Anordnung umfasst:
einen Projektionsstrahlengang,
einen vom Projektionsstrahlengang getrennten Detektionsstrahlengang,
zumindest eine mustererzeugende Komponente (21-27),
mindestens einen gerasterten Lichtdetektor (71, 72, 73) mit Pixeln,
mindestens ein Rechnersystem (17);
eine rechnersteuerbare Scanvorrichtung (8, 81) zum Tiefenscan des Messobjekts (6, 61, 62, 63),
wobei:
die Anordnung ausgelegt und eingerichtet ist, einen kontinuierlichen oder schrittweisen Tiefenscan durchzuführen, welcher eine Bewegung zumindest einer Komponente der Anordnung und/oder eine Variation der Brechkraft zumindest einer Komponente der Anordnung im Projektionsstrahlengang umfasst;
im Projektionsstrahlengang und/oder im Detektionsstrahlengang mindestens ein Paar von zwei Planspiegelflächen, welche in Form eines Winkelspiegels (44, 45, 47), einer Winkelspiegelanordnung (491, 492) oder eines Winkelspiegelprismas (413, 433, 4131, 4132, 423, 448, 458) angeordnet sind, wobei die Differenz der Anzahl der Reflexionen an den Planspiegelflächen im Projektionsstrahlengang- und im Detektionsstrahlengang null beträgt oder geradzahlig ist; und
wobei die Anordnung ferner ausgelegt ist,
gleichzeitig oder nacheinander zumindest zwei Gittermuster mit unterschiedlichen Gitterperioden p_1 und p_2 zu erzeugen und auf das Messobjekt (6, 61, 62, 63) durch den Projektionsstrahlengang zu projizieren, wobei die Gitterperioden p_1 und p_2 die Beziehungen: p_2≥1,01*p_1 und p_2≤100*p_1,erfüllen; und
mit dem gerasterten Lichtdetektor (71, 72, 73, 74, 75) und unter Nutzung des Detektionsstrahlengangs zumindest zwei Bildersätze aufzunehmen, die jeweils den unterschiedlichen Gittermustern entsprechen, wobei jeder Bildersatz eine Folge von Bildern des mit einem bestimmten Gittermuster strukturiert beleuchteten Messobjekts (6, 61, 62, 63) umfasst.

DE102017004429B4


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