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Europäisches Patentamt

Verfahren zum Betreiben eines Oberflächenmessgerätes

Patentnummer:DE102017107972B4
IPC Hauptklasse:G01B000520
Anmelder:JENOPTIK Industrial Metrology Germany GmbH (0)
Alte Tuttlinger Strasse 20, 78056 Villingen-Schwenningen, DE
Erfinder:
Anmeldung:12.04.17
Offenlegung:12.04.17
Patenterteilung:09.05.19

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zum Betreiben eines Oberflächenmessgeräts, das einen Taster mit einem um eine Achse schwenkbar gelagerten, auswechselbaren Tastarm aufweist, wobei der Achse eine Positioniereinrichtung zur Positionierung des Tastarmes und zur Einstellung einer Tastkraft und eine Positionsfeststellungseinrichtung zur Feststellung der Position des Tastarms zugeordnet sind,
wobei Ausgangssignale der Positionsfeststellungseinrichtung einer Regelungseinrichtung zugeführt werden, die in Regelungsverbindung mit der Positioniereinrichtung steht zur Positions- oder Tastkraftregelung des Tastarms,
wobei das Oberflächenmessgerät zwischen einem Messmodus und einem Regelungseinstellmodus umschaltbar ist,
wobei in dem Regelungseinstellmodus
a) die Positioniereinrichtung bei eingeschalteter Positionsregelung entsprechend einer Testfunktion angesteuert wird zur Auslenkung des Tastarms um die Achse,
b) mittels der Positionsfeststellungseinrichtung der Zeit-Weg-Verlauf der durch die Auslenkung initiierten Bewegung des Tastarms um die Achse erfasst und aufgezeichnet wird,
c) das Schwingverhalten des Tastarmes anhand des aufgezeichneten Zeit-Weg-Verlaufes analysiert wird und
d) wenigstens ein Regelungsparameter der Regelungseinrichtung zur Optimierung des Schwingverhaltens variiert wird,
wobei die Schritte a) bis d) iteriert werden, bis das Schwingverhalten entsprechend wenigstens einem Optimierungskriterium optimiert ist,
wobei die zugehörigen Regelungsparameter abgespeichert werden und
wobei die Regelungseinrichtung des Oberflächenmessgeräts im Messmodus mit den abgespeicherten Regelungsparametern betrieben wird.

DE102017107972B4


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