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Europäisches Patentamt

Maßelement für eine optische Messvorrichtung

Patentnummer:DE102018103869B3
IPC Hauptklasse:G01D000526
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:21.02.18
Offenlegung:21.02.18
Patenterteilung:09.05.19

Abstract / Hauptanspruch
Die Erfindung betrifft ein Maßelement für eine optische Messvorrichtung, die einen Inkrementalencoder und ein interferometrisches Sensorsystem umfasst, wobei das Maßelement an einer seiner Oberflächen eine Reflexionsschicht aufweist, die zum Zusammenwirken mit dem interferometrischen Sensorsystem vorgesehen ist, und das Maßelement weiterhin eine Maßverkörperung aufweist, die in einer von der Reflexionsschicht weg weisenden Richtung und beabstandet zu dieser angeordnet ist und zum Zusammenwirken mit dem inkrementellen Sensorsystem vorgesehen ist, wobei die Reflexionsschicht derart beschaffen ist, dass sie für Licht bestimmter Wellenlängen durchlässig ist und für andere Wellenlängen reflektierend wirkt.

DE102018103869B3


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