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Europäisches Patentamt

Galvanometer-Abtastkamera mit variablem Fokus und Verfahren

Patentnummer:DE102014003348B4
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:07.03.14
Offenlegung:08.03.13
Patenterteilung:23.05.19

Abstract / Hauptanspruch
Ein Verfahren zum Untersuchen eines Werkstücks durch das Erzeugen eines hochauflösenden Bildes, aufweisend die Schritte von:
Bereitstellen eines Sensorfeldes und einer optischen Linse, die eine optische Achse zum Fokussieren einer Ansicht von dem Werkstück auf das Sensorfeld definiert;
Bereitstellen einer Spiegelbaugruppe mit einer Ausrichtung zum Umlenken der Sicht von dem Sensorfeld;
Neigen des Sensorfeldes bezüglich der optischen Achse von der optischen Linse;
Verändern der Orientierung von der Spiegelbaugruppe zum Lenken der Sicht von dem Sensorfeld auf einen ausgewählten Bereich auf dem Werkstück, wobei die optische Linse die Ansicht von dem ausgewählten Bereich auf einen Teil von dem Sensorfeld lenkt, der bestimmt wurde, um die Auflösung von einem Bild zu erhöhen, das erzeugt wurde von dem ausgewählten Bereich auf dem Werkstück basierend auf dem Neigungswinkel von dem Sensorfeld bezüglich der optischen Achse.

DE102014003348B4


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