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Europäisches Patentamt

Verfahren zum Kalibrieren einer optischen Anordnung eines Koordinatenmessgerätes

Patentnummer:DE102017112976B4
IPC Hauptklasse:G01B001125
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
Carl Zeiss Strasse 22, 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:
Anmeldung:13.06.17
Offenlegung:13.06.16
Patenterteilung:29.05.19

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zum Kalibrieren einer optischen Anordnung (12), die zum Bestimmen von dimensionellen Eigenschaften eines Messobjekts vorgesehen ist, wobei die optische Anordnung einen Projektor (14) aufweist, der dazu ausgebildet ist, ein erstes periodisches Muster auf eine Projektionsfläche (24) innerhalb eines Messvolumens (18) zu projizieren, und wobei die optische Anordnung (12) eine Kamera (16) zum Aufnehmen von Bildern der Projektionsfläche (24) aufweist, wobei das Verfahren die folgenden Schritte beinhaltet:
a) Anordnen einer mattierten Oberfläche in dem Messvolumen (18) an einer ersten Position relativ zu der optischen Anordnung (12) entlang einer ersten Achse,
b) Bereitstellen eines separaten zweiten periodischen Musters auf der mattierten Oberfläche und Verschieben des zweiten periodischen Musters in einer Vielzahl von Phasenschritten in zumindest einer zweiten Richtung, die quer zu der ersten Achse ist, wobei die zumindest eine zweite Richtung zumindest eine zweite Achse definiert,
c) Aufnehmen von Bildern des zweiten Musters unter Verwendung der Kamera (16) und Bestimmen eines Verzeichnungsfehlers der Kamera (16) unter Verwendung des zweiten periodischen Musters,
d) Projizieren des ersten periodischen Musters auf die mattierte Oberfläche mit Hilfe des Projektors (14),
e) Aufnehmen von Bildern des ersten Musters unter Verwendung der Kamera (16) und Bestimmen einer ersten Koordinate von zumindest einem Musterpunkt des projizierten ersten periodischen Musters, wobei sich die erste Koordinate auf die erste Achse bezieht,
f) Bestimmen einer zweiten Koordinate des zumindest einen Musterpunkt des projizierten ersten periodischen Musters auf Basis des zweiten Musters, wobei sich die zweite Koordinate auf die zweite Achse bezieht,
g) Verschieben der mattierten Oberfläche relativ zu der optischen Anordnung zu einer zweiten Position entlang der ersten Achse und Wiederholen der Schritte b) bis f) für eine Vielzahl von Relativpositionen der mattierten Oberfläche entlang der ersten Achse.

DE102017112976B4


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