patentverein.de - Patente
Patentethik
Überwachung
Beispielhaft
Trivial
Kurios
Unverständlich
Zurück Original-Dokument
Europäisches Patentamt

SEMICONDUCTOR STRAIN SENSOR | HALBLEITERBELASTUNGSSENSOR | CAPTEUR DE DÉFORMATION À SEMI-CONDUCTEUR

Patentnummer:EP2184576B1
IPC Hauptklasse:G01B000716
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:25.07.08
Offenlegung:27.08.07
Patenterteilung:15.05.19

Abstract / Hauptanspruch
A semiconductor strain sensor having a strain sensor chip composed of a semiconductor substrate having a piezoresistive element as a strain detection section. The semiconductor strain sensor has a stable characteristic for a long period of time and a stable conversion factor of a strain generated in the strain sensor chip corresponding to a strain of an object to be measured, within a strain range of a size to be measured. The strain sensor chip is bonded to a metal base plate with a metal bonding material. The metal base plate has two or four extending members, which protrude from a side of the strain sensor chip for attaching the strain senor chip to the object to be measured. Preferably, a groove is arranged between a metal base plate undersurface area, which corresponds to the bonding area where the strain sensor chip is bonded to the metal base plate, and the undersurfaces of the extending members, and a protruding section sandwiched by the grooves is arranged on the undersurface of the metal base plate.

L'invention concerne un capteur de déformation à semi-conducteur doté d'une puce de capteur de déformation composée d'un substrat à semi-conducteur doté d'un élément piézorésistif tenant lieu de section détection de déformation. Le capteur de déformation à semi-conducteur possède des caractéristiques stables lui conférant une grande durée de service et un coefficient de conversion stable pour une déformation générée dans la puce de capteur de déformation et correspondant à une déformation d'un sujet à mesurer, ceci dans une gamme de tailles de déformation à mesurer. La puce de capteur de déformation est reliée à une carte de base métallique avec un matériau de liaison métallique. La carte de base métallique a deux ou quatre éléments d'extension, qui font saillie d'un côté de la puce de capteur de déformation et servent à fixer ladite puce de capteur de déformation au sujet à mesurer. De préférence, une cannelure est disposée entre une zone de surface inférieure de la carte de base métallique, qui correspond à la zone de liaison où la puce de capteur de déformation est liée à la carte de base métallique, et les surfaces inférieures des éléments d'extension; une section saillante intercalée entre les cannelures est disposée sur la surface inférieure de la carte de base métallique.

EP2184576B1


Kommentare zu diesem Patent schicken Sie bitte an .
Datenschutzerklärung