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Europäisches Patentamt

Messvorrichtung für Oberflächenstrukturen und Messverfahren für Oberflächenstrukturen

Patentnummer:DE10115288B4
IPC Hauptklasse:G01B002120
Anmelder:Mitutoyo Corporation (0)
Kawasaki-shi, Kanagawa-ken, JP
Erfinder:
Anmeldung:28.03.01
Offenlegung:29.03.00
Patenterteilung:28.02.19

Abstract / Hauptanspruch
Messvorrichtung für Oberflächenstrukturen zum Messen einer Oberflächenstruktur eines Werkstücks (20), wobei die Messvorrichtung umfasst:
einen Taster (1) mit einer Tasterspitze, dessen Querschnitt bogenförmig ist, wobei der Taster (1) an einem drehbaren Arm (2) angebracht ist und bogenförmig bewegbar ist, und wobei der Taster (1) entlang einer Oberfläche (200) des Werkstücks (20) bewegbar ist;
einen Erfassungsabschnitt zum Erfassen eines Neigungswinkels α des Tasters (1) in Bezug auf eine Z-Richtung,
einen Messabschnitt (3) zum Messen einer Verschiebung des Tasters (1) in der Z-Richtung;
einen Speicherabschnitt (32, 33) zum Speichern von Radiuswerten (r) gemäß entsprechenden Winkeln θ zwischen einer Korrekturrichtung für einen Radius der Spitze des Tasters (1) und der Z-Richtung, die man durch Messen mit dem Taster (1) einer Prüflehre mit einer kugelförmigen, zylindrischen oder messerschneidenförmigen Gestalt mit bekanntem Radius (R) erhält; und
einen Korrekturabschnitt (31) zum Korrigieren eines gemessenen Wertes auf der Basis des Radiuswertes (r), der im Speicherabschnitt (32, 33) gespeichert ist und der mit einem Winkel θ zwischen der Korrekturrichtung für den Radius der Spitze des Tasters (1) und der Z-Richtung an einem Punkt des gemessenen Wertes des Werkstückes (20) korrespondiert,
wobei der Korrekturabschnitt (31) eingerichtet ist, den gemessenen Wert zu korrigieren auf der Basis des Radiuswertes (r), der im Speicherabschnitt (32, 33) gespeichert ist und der mit einem Winkel θ' korrespondiert, den man durch Korrektur des Winkels θ zwischen der Korrekturrichtung für den Radius der Spitze des Tasters (1) und der Z-Richtung an dem Punkt des gemessenen Wertes des Werkstückes (20) mit dem Neigungswinkel α des Tasters (1) erhält.

DE10115288B4


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