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Europäisches Patentamt

Vorrichtung und Verfahren zum Vermessen einer Flächentopografie

Patentnummer:DE102016106535B4
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
73447, Oberkochen, DE
Erfinder:Glasenapp, Carsten (0)
73447, Oberkochen, DE
Anmeldung:08.04.16
Offenlegung:08.04.16
Patenterteilung:07.03.19

Abstract / Hauptanspruch
Vorrichtung (10) für das Vermessen der Topografie und/oder der Gradienten und/oder der Krümmung einer optisch wirksamen Fläche (18) eines Gegenstands (12)
mit einer Einrichtung zum Anordnen des Gegenstands (12) in einem Aufnahmebereich (14) mit einer an den Gegenstand (12) anlegbaren Anlage (17);
mit einer Vielzahl von Punktlichtquellen (20), die Licht bereitstellen, das an der zu vermessenden Fläche (18) eines in dem Aufnahmebereich (14) angeordneten Gegenstands reflektiert wird; und
mit wenigstens einer Kamera (34) mit einer Objektivbaugruppe (40) und mit einem Bildsensor (46) für das Erfassen einer Helligkeitsverteilung, die von dem an der zu vermessenden Fläche (18) reflektierten Licht der Punktlichtquellen (20) auf einem Bildsensor (46) hervorgerufen wird;
dadurch gekennzeichnet, dass
der Bildsensor (46) der Kamera (34) entlang einer die Objektivbaugruppe (40) durchsetzenden Verstellachse (52) linearbeweglich verlagerbar angeordnet ist.

DE102016106535B4


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