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Europäisches Patentamt

OPTICAL LAYER SYSTEM | OPTISCHES SCHICHTSYSTEM | SYSTEME DE COUCHE OPTIQUE

Patentnummer:EP3150970B1
IPC Hauptklasse:G01D000538
Anmelder:Dr. Johannes Heidenhain GmbH (0)
83301, Traunreut, DE
Erfinder:Speckbacher, Peter (0)
Dr., 84558, Kirchweidach, DE
Anmeldung:12.07.16
Offenlegung:29.09.15
Patenterteilung:27.02.19

Abstract / Hauptanspruch
Es wird ein optisches Schichtsystem für eine Positionsmesseinrichtung offenbart, mit dem auf einer Oberfläche eines transparenten Substrats (S) wenigstens eine erste, zweite und dritte Funktionsfläche (1, 2, 3) mit jeweils unterschiedlicher optischer Funktion bereit gestellt werden kann. Diese Funktionsflächen (1, 2, 3) sind aus einem ersten Schichtstapel (A) und einem zweiten Schichtstapel (B) aufgebaut. Die erste Funktionsfläche (1) besteht ganzflächig aus dem ersten Schichtstapel (A) und wirkt als Antireflexschicht, während die dritte Funktionsfläche (3) ganzflächig aus dem zweiten Schichtstapel (B) besteht und als Spiegel wirkt. Die zweite Funktionsfläche (2) als wirkt als optisches Gitter, indem die beiden Schichtstapel (A, B) periodisch abwechselnd angeordnet sind.

EP3150970B1


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