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APPEARANCE INSPECTION APPARATUS AND APPEARANCE INSPECTION METHOD | VORRICHTUNG UND VERFAHREN FÜR DIE UNTERSUCHUNG DES ERSCHEINUNGSBILDES | APPAREIL D'INSPECTION D'ASPECT ET PROCÉDÉ D'INSPECTION D'ASPECT

Patentnummer:EP2799848B1
IPC Hauptklasse:G01B001125
Anmelder:Bridgestone Corporation (0)
10-1, Kyobashi 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 104-8340, JP
Erfinder:
Anmeldung:28.12.12
Offenlegung:28.12.11
Patenterteilung:06.03.19

Abstract / Hauptanspruch
An appearance inspection apparatus and an appearance inspection method capable of detecting a shape, minute unevenness on the surface, shine or changes in color tone on the surface of a sample under inspection. The method includes the steps of acquiring reflected luminance data on the sample surface by casting a slit light having an intermediate wavelength of three types of lights having different wavelengths from each other and receiving reflected light of the slit light, acquiring surface data on the sample surface by casting two lights of different wavelengths other than the intermediate wavelength at a position other than the position illuminated by the slit light on the sample surface from two different directions so as to overlap the two lights with each other and receiving the reflected light, and detecting surface unevenness from a ratio between the intensities of the two lights, changes in color tone by combining the reflected luminance data and the surface data, and gloss on the sample surface based on the presence or absence of surface unevenness and the changes in color tone.

L'invention concerne un dispositif et un procédé d'inspection de vue externe, avec lesquels il est possible de détecter une forme d'un spécimen et une irrégularité minuscule dans la surface du spécimen, ainsi que de détecter des changements de teinte de couleur ou de brillance dans l'état de la surface, une surface de spécimen est éclairée avec une lumière de fente, de lumière ayant une longueur d'ondes intermédiaire de trois types de lumières ayant différentes longueurs d'ondes, des données de luminosité de réflexion de la surface du spécimen sont obtenues à partir de la lumière reflétée reçue, la surface du spécimen est éclairée avec deux lumières de différentes longueurs d'ondes, autres que la longueur d'ondes intermédiaire, dans des emplacements différents de l'emplacement éclairé avec la lumière de fente, de sorte que les données de surface de la surface du spécimen soient obtenues à partir de la lumière reflétée reçue, la présence d'irrégularités de surface du spécimen est détectée à partir de la proportion des intensités des deux lumières, les données de luminosité reflétées et les données de surfaces sont composées et les changements de teinte de couleur dans la surface du spécimen sont détectés, la brillance dans la surface du spécimen est détectée sur la base de la présence d'irrégularités et de changements de teinte de couleur.

EP2799848B1


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