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Europäisches Patentamt

THREE-DIMENSIONAL SHAPE MEASURING APPARATUS USING DIFFRACTION GRATING | DREIDIMENSIONALE FORMMESSVORRICHTUNG MIT BEUGUNGSGITTER | APPAREIL DE MESURE DE FORME TRIDIMENSIONNELLE UTILISANT UN RÉSEAU DE DIFFRACTION

Patentnummer:EP3220100B1
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:11.11.15
Offenlegung:13.11.14
Patenterteilung:20.03.19

Abstract / Hauptanspruch
Disclosed is a three-dimensional shape measuring apparatus using a diffraction grating, comprising: a light splitter installed in a traveling direction of a light generated from a light source unit and configured to reflect a portion of the light along a first path and transmit a portion of the light along a second path; an image sensor unit configured to receive a light traveling along the first path and reflected from a measurement target having at least one hole, and measure the shape of the measurement target; and a diffraction grating disposed on at least one light path among a light path between the light source unit and the light splitter, a light path between the measurement target and the light splitter, and a light path between the measurement target and the image sensor unit.

L'invention concerne un appareil de mesure de forme tridimensionnelle utilisant un réseau de diffraction, comprenant : un diviseur de lumière, installé dans la direction de progression de la lumière générée par une partie de source de lumière, pour la réflexion d'une partie de la lumière sur un premier chemin et l'émission d'une partie de la lumière sur un second chemin ; un capteur d'images pour la réception de la lumière qui progresse sur le premier chemin et qui est réfléchie sur un objet à mesurer comportant au moins un trou pour mesurer ainsi la forme de l'objet à mesurer ; et un réseau de diffraction disposé dans au moins un chemin de lumière parmi un chemin de lumière entre la partie de source de lumière et le diviseur de lumière, un chemin de lumière entre l'objet à mesurer et le diviseur de lumière, et un chemin de lumière entre l'objet à mesurer et le capteur d'images.

EP3220100B1


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