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Europäisches Patentamt

METHOD AND DEVICE FOR THE DETERMINATION OF SURFACE MODIFICATIONS ON OPTICALLY TRANSPARENT COMPONENTS | VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG VON OBERFLÄCHENMODIFIKATIONEN AUF OPTISCH TRANSPARENTEN BAUTEILEN | PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE DÉTERMINATION DES MODIFICATIONS DE SURFACE DES COMPOSANTS OPTIQUEMENT TRANSPARENTS

Patentnummer:EP3324149B1
IPC Hauptklasse:G01B001106
Anmelder:
Erfinder:Hertzsch, Albrecht (0)
Dr.-Ing., 99441, Großschwabhausen, DE
Anmeldung:15.11.17
Offenlegung:16.11.16
Patenterteilung:20.03.19

Abstract / Hauptanspruch
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erkennung von Modifikationen an einem optisch transparenten Bauteil (1) mit einer planparallelen Substratlage (1.1) aus einem Substrat, wobei auf eine Vorderfläche (1.2) des Bauteils (1) mittels einer Beleuchtungseinheit (2) ein Beleuchtungsstrahlenbündel in einem linienförmigen Beleuchtungsabschnitt fokussiert wird. Das Beleuchtungsstrahlenbündel ist längs des Beleuchtungsabschnitts kollimiert und in einer Einfallsebene in einem halben Öffnungswinkel von zwischen einem und drei Grad symmetrisch um den Brewster-Winkel des Substrats angeordnet und zur Einfallsebene parallel polarisiert. Die summarische Intensität mindestens eines an einer zur Substratlage (1.1) parallelen Grenzfläche des Bauteils (1) reflektierten Messstrahlenbündels (5.1, 5.2) wird mittels einer Detektoreinheit (3) erfasst und mit mindestens einer an einem Referenzprüfkörper gemessenen summarischen Referenzintensität verglichen.

EP3324149B1


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