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Europäisches Patentamt

OPTICAL POSITIONING DEVICE | OPTISCHE POSITIONSMESSEINRICHTUNG | DISPOSITIF OPTIQUE DE MESURE DE POSITION

Patentnummer:EP3339811B1
IPC Hauptklasse:G01D000538
Anmelder:Dr. Johannes Heidenhain GmbH (0)
83301, Traunreut, DE
Erfinder:
Anmeldung:20.12.16
Offenlegung:20.12.16
Patenterteilung:20.03.19

Abstract / Hauptanspruch
Die Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Messung der Relativlage zweier Objekte. Dabei wird durch das Wechselwirken einer Messteilung (10) mit einem Lichtmuster (M) auf einer Detektoranordnung (21) ein Verniermuster mit Hellbereichen und Dunkelbereichen erzeugt. Die Messteilung ist ein Phasengitter, das in Bezug auf das auftreffende Lichtmuster (M) derart ausgebildet ist, dass die Intensität der Hellbereiche des Verniermuster durch das Zusammenwirken von geometrischer Strahlenoptik und Wellenoptik maximiert ist.

EP3339811B1


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