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Europäisches Patentamt

SENSOR AND RUNNING METHOD THEREOF FOR ABSOLUTE POSITION MEASURING THE DISPLACEMENT OF A CAPACITIVE GRATING | SENSOR UND BETRIEBSVERFAHREN ZUR ABSOLUTEN POSITIONSMESSUNG DER VERSCHIEBUNG EINES KAPAZITIVEN GITTERS | CAPTEUR ET SON PROCÉDÉ D'UTILISATION POUR EFFECTUER DES MESURES DE POSITION ABSOLUE DU DÉPLACEMENT D'UN RÉSEAU CAPACITIF

Patentnummer:EP2618101B1
IPC Hauptklasse:G01B000702
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:14.02.11
Offenlegung:14.08.10
Patenterteilung:27.03.19

Abstract / Hauptanspruch
An absolute position measurement capacitive grating displacement measurement method, a sensor, and an operating method of the sensor are provided. In the measurement method, a drive signal having wave properties is used to excite a transmission grating, and displacement of a measured position in each wavelength is transformed into an initial phase of a time fundamental wave. The displacement of the measured position in each wavelength is acquired through an addition counter. A signal having wave properties output by a drive signal generator of the sensor is connected to a transmission grating, the master clock of an oscillator is connected to each circuit, an output of a reception grating is connected to a synchronous capture circuit through a signal selection switch and an analog processing circuit; and the synchronous capture circuit is connected to a controller, an addition counter, and a Random Access Memory (RAM). The controller is connected to all components. In the operating method of the sensor, an interface unit starts a measurement unit, a controller coordinates operation of all circuits, and after measurement of displacements in coarse, medium, and fine wavelengths is successively completed, the interface unit turns off the measurement unit, performs processing, and displays the measurement result. The circuits are simple, easy to control, and easy to be realized, and have high precision.

L'invention concerne un procédé de mesure, un capteur et son procédé d'utilisation pour effectuer des mesures de position absolue du déplacement d'un réseau capacitif. Le procédé de mesure comprend : l'adoption d'un signal d'attaque ayant une propriété de fluctuation pour exciter une grille d'émission (1.1), la transformation des déplacements de la position à mesurer dans chaque longueur d'onde en phases initiales d'onde fondamentale temporelle et l'obtention des déplacements de la position à mesurer dans chaque longueur d'onde grâce à un compteur totalisateur (15). Un générateur de signal d'attaque (5) du capteur sort un signal ayant une propriété de fluctuation, et est connecté à la grille d'émission (1.1). Une horloge maîtresse d'un oscillateur (12) peut accéder à chaque circuit. La sortie d'une grille de réception est connectée à un circuit bouchon synchrone (14) par l'intermédiaire d'un groupe de commutateurs de sélection de signal (6) et d'un circuit de traitement analogique. Le circuit bouchon synchrone (14) est connecté à un dispositif de commande (16), au compteur totalisateur (15) et à une RAM (17). Le procédé d'utilisation du capteur est le suivant : une unité d'interface (8) active une unité de mesure; le dispositif de commande (16) coordonne les opérations entre les circuits; et après la fin des mesures des déplacements dans les longueurs d'onde grossières, modérées et fines en séquence, l'unité d'interface (8) désactive l'unité de mesure, puis traite et affiche les résultats de mesure.

EP2618101B1


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