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Europäisches Patentamt

Verfahren und Anordnung zur robusten, tiefenscannenden fokussierenden Streifen-Triangulation mit mehreren Wavelets

Patentnummer:DE102017004428B4
IPC Hauptklasse:G01B001125
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:08.05.17
Offenlegung:08.05.17
Patenterteilung:29.11.18

Abstract / Hauptanspruch
Vorgeschlagen werden eine Anordnung und ein Verfahren zur tiefenscannenden Streifen-Triangulation mit internem oder externem Tiefen-Scan, insbesondere auch für die 3D-Gestaltmessung in Mikroskopie und Mesoskopie. Es soll die Robustheit der Messung mit Wavelet-Signal-Erzeugung aus einem Bilderstapel vergrößert werden. Das Auftreten der bekannten und sehr unerwünschten 2Pi-Phasensprünge in der Phasenkarte soll weitestgehend vermieden werden. Dazu werden bei einer Messung anstelle eines Wavelets mindestens zwei Wavelets mit Kontrasteinhüllender erzeugt. Dies erfolgt durch eine zeitgleiche - dann vorzugsweise mit spektraler Trennung - oder durch eine sequenzielle Projektion von zwei Streifenbildern mit unterschiedlicher Triangulationswellenlänge auf das Messobjekt.

DE102017004428B4


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