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Europäisches Patentamt

Verfahren zum Bestimmen der Summenteilungsabweichungen von Positionsverkörperungen eines Werkstücks mit einer Kreisteilung

Patentnummer:DE102017119488B3
IPC Hauptklasse:G01B002122
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:25.08.17
Offenlegung:25.08.17
Patenterteilung:27.12.18

Abstract / Hauptanspruch
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen der Summenteilungsabweichungen (A j) von Positionsverkörperungen (Zj) eines Werkstücks (30) mit einer Kreisteilung mit Teilungszahl N, mit den Schritten:
(a) Anordnen des Werkstücks (30) auf einem Messtisch (26),
(b) Messen von jeweils S Summenteilungsabweichungsmesswerten an Messgerätwinkelpositionen p s in R Winkelpositionen qr des Werkstücks (30) gegenüber dem Messgerät, sodass S·R Summenteilungsabweichungsmesswerte Mqr+ps,qr erhalten werden,
(i) wobei 0 ≤ q 1 < q2 < ... < qR ≤ N - 1 mit R ≥ 2 gilt,
(ii) wobei 0 ≤ p 1 < p2 < ... < ps ≤ N - 1 mit S ≥ 2 gilt,
(iii) R·S + 3 ≥ N + R + S + 1 gilt,
(iv) wobei sich jede Zahl j = 0,1, ..., N - 1 darstellen lässt als j = (q r + ps)mod N mit r = 1,2,...,R und s = 1,2,..., S,
(v) wobei die Zahlen q 2 - q1, q3 - q1, q4 - q1, ..., qR - q1, N teilerfremd sind,
(vi) wobei die Zahlen p 2 - p1, p3 - p1, p4 - P1,..., ps - p1, N teilerfremd sind und
(c) Bestimmen der Summenteilungsabweichungen A j anhand der Gleichung (ABCK)=(Gt⋅G)−1⋅Gt⋅(W˜000),
(i) worin A ein Vektor ist, der die Kreisteilungsfehler A j enthält,
(ii) worin B und C Vektoren sind und K eine Konstante ist,
(iii) worin G eine Matrix ist, für die G=(H1L1I1⋮⋮⋮⋮HRLRI11⋯10⋯00⋯000⋯01⋯10⋯000⋯00⋯01⋯10)gilt,
(iv) wobei die einzelnen Blöcke der Matrix G folgendermaßen definiert sind:
- H r ist eine S × N-Matrix, die an den Stellen (s, (qr + ps)mod N) für s = 1,2, ...,S eine Eins enthält, und ansonsten nur Nullen,
- L r ist eine S × R Matrix, die in der Spalte r (r = 1,2,..., R) Einsen enthält und ansonsten nur Nullen und
- I ist die S × S-Einheitsmatrix und
(v) wobei W̃ ein Vektor ist, der die Messwerte enthält.

DE102017119488B3


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