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DETECTING GEOMETRIC MOVEMENT GUIDANCE DEVIATIONS IN A COORDINATE MEASURING DEVICE OR A MACHINE TOOL | ERFASSUNG VON GEOMETRISCHEN ABWEICHUNGEN EINER BEWEGUNGSFÜHRUNG BEI EINEM KOORDINATENMESSGERÄT ODER EINER WERKZEUGMASCHINE | DÉTECTION D'ÉCARTS GÉOMÉTRIQUES D'UNE COMMANDE DE TRAJECTOIRE DANS UN APPAREIL DE MESURE DE COORDONNÉES OU DANS UNE MACHINE-OUTIL

Patentnummer:EP3240994B1
IPC Hauptklasse:G01B002104
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
Carl Zeiss Strasse 22, 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:FUCHS, Andreas (0)
Westerfeldstraße 5, 73492 Rainau, DE
Anmeldung:06.10.15
Offenlegung:07.10.14
Patenterteilung:12.12.18

Abstract / Hauptanspruch
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erfassung von geometrischen Abweichungen einer realen Bewegungsführung von einer idealen Bewegungsführung bei einem Koordinatenmessgerät, das einen Sensor zur Vermessung eines Werkstücks aufweist, oder bei einer Werkzeugmaschine, die ein Werkzeug zur Bearbeitung eines Werkstücks aufweist, wobei das Koordinatenmessgerät oder die Werkzeugmaschine ein entlang der Bewegungsführung und von der Bewegungsführung geführtes bewegliches Teil aufweist, wobei das bewegliche Teil in einer Vorwärtsrichtung entlang der Bewegungsführung bewegt wird und an einer Mehrzahl von ersten Positionen (21) des beweglichen Teils bezüglich der Bewegungsführung jeweils ein Messwert der geometrischen Abweichung aufgenommen wird, so dass eine erste Gruppe von Messwerten aufgenommen wird, das bewegliche Teil in einer Rückwärtsrichtung, die entgegengesetzt zu der Vorwärtsrichtung verläuft, entlang der Bewegungsführung bewegt wird und an einer Mehrzahl von zweiten Positionen (11) des beweglichen Teils bezüglich der Bewegungsführung jeweils ein Messwert der geometrischen Abweichung aufgenommen wird, so dass eine zweite Gruppe von Messwerten aufgenommen wird, bei der Aufnahme der ersten Gruppe von Messwerten kein Messwert an zumindest einer ersten Zwischenposition (22) aufgenommen wird, die zwischen zwei der ersten Positionen (21) an einer der zweiten Positionen (11) liegt, und/oder wobei bei der Aufnahme der zweiten Gruppe von Messwerten kein Messwert an zumindest einer zweiten Zwischenposition (12) aufgenommen wird, die zwischen zwei der zweiten Positionen (11) an einer der ersten Positionen (21) liegt, für jede der ersten Positionen (21) und für jede der zweiten Positionen (11) aus dem Verlauf (20) der ersten Gruppe von Messwerten entlang der Bewegungsführung und aus dem Verlauf (10) der zweiten Gruppe von Messwerten entlang der Bewegungsführung ein Mittelwert (31) der geometrischen Abweichung der Bewegungsführung berechnet wird und auf diese Weise eine Gruppe von Mittelwerten gebildet wird, die die Mittelwerte der geometrischen Abweichungen bei Bewegung des beweglichen Teils in der Vorwärtsrichtung und der Rückwärtsrichtung sind.

The invention relates to a method for detecting geometric deviations of a real movement guidance process from an ideal movement guidance process in a coordinate measuring device, which has a sensor for measuring a workpiece, or in a machine tool, which has a tool for machining a workpiece. The coordinate measuring device or the machine tool has a movable part which is guided along a movement guide and by the movement guide. The movable part is moved in a forward direction along the movement guide, and a respective measurement value of the geometric deviation is detected at a plurality of first positions (21) of the movable part with respect to the movement guide such that a first group of measurement values is detected; and the movable part is moved along the movement guide in a reverse direction which runs opposite the forward direction, and a respective measurement value of the geometric deviation is detected at a plurality of second positions (11) of the movable part with respect to the movement guide such that a second group of measurement values is detected. When detecting the first group of measurement values, no measurement values are detected at at least one first intermediate position (22) which lies between two of the first positions (21) and one of the second positions (11), and/or when detecting the second group of measurement values, no measurement values are detected at at least one second intermediate position (12) which lies between two of the second positions (11) and one of the first positions (21). For each of the first positions (21) and for each of the second positions (11), an average value (31) of the geometric movement guidance deviation is calculated from the curve (20) of the first group of measurement values along the movement guide and from the curve (10) of the second group of measurement values along the movement guide, and in this manner, a group of average values is formed which are the average values of the geometric deviations during the movement of the movable part in the forward direction and in the reverse direction.

L'invention concerne un procédé de détection d'écarts géométriques entre une commande de trajectoire réelle et une commande de trajectoire idéale dans un appareil de mesure de coordonnées, qui comprend un capteur pour la mesure d'une pièce à usiner, ou dans une machine-outil, qui comprend un outil pour l'usinage d'une pièce à usiner. L'appareil de mesure de coordonnées ou la machine-outil comprend une pièce qui est mobile le long de la commande de trajectoire et guidée par la commande de trajectoire. La pièce mobile est déplacée dans un sens vers l'avant le long de la commande de trajectoire et à chaque position d'une pluralité de premières positions (21) de la pièce mobile est enregistrée une valeur de mesure de l'écart géométrique concernant la commande de trajectoire de sorte qu'un premier groupe de valeurs de mesure est enregistré. La pièce mobile est déplacée dans un sens vers l'arrière, qui est opposé au sens vers l'avant, le long de la commande de trajectoire et à chaque position d'une pluralité de deuxièmes positions (11) de la pièce mobile est enregistrée une valeur de mesure de l'écart géométrique concernant la commande de trajectoire de sorte qu'un deuxième groupe de valeurs de mesure est enregistré. Lors de l'enregistrement du premier groupe de valeurs de mesure, aucune valeur de mesure n'est enregistrée à au moins une première position intermédiaire (22) qui est située à une des deuxièmes positions (11) entre deux des premières positions (21) et/ou, lors de l'enregistrement du deuxième groupe de valeurs de mesure, aucune valeur de mesure n'est enregistrée à au moins une deuxième position intermédiaire (12) qui est située à une des premières positions (21) entre deux des deuxièmes positions (11). Pour chacune des premières positions (21) et pour chacune des deuxièmes positions (11), une valeur moyenne (31) de l'écart géométrique de la commande de trajectoire est calculée à partir de la courbe (20) du premier groupe de valeurs de mesure le long de la commande de trajectoire et à partir de la courbe (10) du deuxième groupe de valeurs de mesure le long de la commande de trajectoire ; et il est formé de cette façon un groupe de valeurs moyennes qui sont les valeurs moyennes des écarts géométriques lors du déplacement de la pièce mobile dans le sens vers l'avant et dans le sens vers l'arrière.

EP3240994B1


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