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Europäisches Patentamt

Inspektionssystem und Verfahren mit Mehrfachbildphasenverschiebungsanalyse

Patentnummer:DE102010016997B4
IPC Hauptklasse:G01B001125
Anmelder:
Erfinder:Harding, Kevin George (0)
56 Carrie Court, Niskayuna NY New York 12309, US
Song, Guiju (0)
500 Huamu Road; Building 1, Apt. 502, Pudong New Area Shanghai 210203, CN
Anmeldung:18.05.10
Offenlegung:21.05.09
Patenterteilung:08.11.18

Abstract / Hauptanspruch
Inspektionsverfahren mit den Schritten:
Projizieren von Licht aus einer Lichtquelle (20) durch ein Gitter (23), um eine Gitterabbildung zu erzeugen;
Führen der Gitterabbildung durch eine Phasenschiebeeinheit, um mehrere phasenverschobene Muster der Gitterabbildung auf einen Bereich mit linearen Abmessungen von weniger als 10 Millimeter auf einer Objektoberfläche zu erzeugen und zu reflektieren, um mehrere projizierte phasenverschobene Muster in einem Winkel in Bezug auf die Oberflächennormale zu erzeugen;
Gewinnen mehrerer Bilddaten der projizierten phasenverschobenen Muster von der Objektoberfläche (16) aus einem Betrachtungswinkel, der sich von dem Projektionswinkel der phasenverschobenen Muster auf die Objektoberfläche unterscheidet; und
Rekonstruieren der Objektoberfläche aus den Bilddaten mit einer Auflösung von weniger als etwa 10 µm,
wobei die Phasenschiebeeinheit einen stationären Spiegel (26) und einen drehbaren Spiegel (29) aufweist und wobei der stationäre Spiegel (26) dafür eingerichtet ist, die Gitterabbildung auf den drehbaren Spiegel (29) zu reflektieren, wobei der drehbare Spiegel (29) über eine Zeitdauer gedreht wird, wodurch die phasenverschobenen Muster der Gitterabbildung als eine Vielzahl von unterschiedlichen phasenverschobenen Mustern erzeugt werden,
ferner mit den Schritten der Führung der phasenverschobenen Muster durch eine Projektionslinse (28) zur Projektion auf die Objektoberfläche (16) nach der Erzeugung und Reflexion aus der Phasenschiebeeinheit, der Führung der projizierten phasenverschobenen Muster durch eine Betrachtungslinse (32) vor ihrer Abbildung auf den Bildaufnehmer (30), der Führung des Lichts durch eine Sammellinse (21) vor dem Passieren des Gitters (23) und der Führung des Lichts durch eine erste Übertragungslinse (24) mit variablem Fokus zum Übertragen der Interferenzstrahlen aus dem Gitter (23) und der Führung der projizierten phasenverschobenen Muster durch eine zweite Übertragungslinse (31) mit variablem Fokus nach dem Passieren der Betrachtungslinse (32).

DE102010016997B4


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