patentverein.de - Patente
Patentethik
Überwachung
Beispielhaft
Trivial
Kurios
Unverständlich
Zurück Original-Dokument
Europäisches Patentamt

Verfahren und Vorrichtung zur hochgenauen optischen Messung an Objekten mit anhaftenden fluidischen Schichten

Patentnummer:DE102015202470B4
IPC Hauptklasse:G01B001100
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:12.02.15
Offenlegung:12.02.15
Patenterteilung:15.11.18

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zur hochgenauen optischen Messung geometrischer Größen von Objekten, an deren Oberfläche (2) eine fluidische Schicht (10) haftet,
bei dem die optische Messung am Objekt (1) ortsselektiv mit optischer Messstrahlung (4, 4') als Abstandsmessung zur Oberfläche (2) des Objektes (1) erfolgt,
dadurch gekennzeichnet,
dass die fluidische Schicht (10) am Ort (6) der jeweiligen optischen Messung durch lokale Erwärmung mit wenigstens einer weiteren elektromagnetischen Strahlung (12, 12') für die Dauer der Messung in der Viskosität und damit transient in der Dicke (13) bis auf eine Mindestdicke verringert wird.

DE102015202470B4


Kommentare zu diesem Patent schicken Sie bitte an .
Datenschutzerklärung