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Europäisches Patentamt

MEASUREMENT SCALE AND POSITION MEASURING DEVICE COMPRISING THE SAME | MASSVERKÖRPERUNG UND POSITIONSMESSEINRICHTUNG MIT DIESER MASSVERKÖRPERUNG | ÉCHELLE DE MESURE ET DISPOSITIF DE MESURE DE POSITION COMPRENANT UNE TELLE ÉCHELLE DE MESURE

Patentnummer:EP3199919B1
IPC Hauptklasse:G01D000538
Anmelder:Dr. Johannes Heidenhain GmbH (0)
83301, Traunreut, DE
Erfinder:Speckbacher, Peter (0)
Dr., 84558, Kirchweidach, DE
Anmeldung:28.11.16
Offenlegung:26.01.16
Patenterteilung:31.10.18

Abstract / Hauptanspruch
Es wird eine Maßverkörperung mit einem Amplitudengitter für eine Positionsmesseinrichtung mit optischer Abtastung beschrieben, mit einem Träger (T), auf dem eine Spiegelschicht (S) angeordnet ist, gefolgt von einer transparenten Abstandsschicht (A), auf der eine zu einem Gitter strukturierte, teiltransparente Schicht (M) angeordnet ist. Die teiltransparente Schicht (M) definiert ein Hell-Dunkel-Muster, wobei Bereiche mit der teiltransparenten Schicht (M) dunkel und Bereiche ohne die teiltransparente Schicht (M) hell erscheinen. Auf der strukturierten, teiltransparenten Schicht (M) ist eine Versiegelungsschicht (V) angeordnet. Dabei gilt, dass die Produkte (n AdA, nvdv) aus dem Brechungsindex (nA, nv) und der Schichtdicke (dA, dV) für die Abstandsschicht (A) und die Versiegelungsschicht (V) gleich sind oder sich um ein ungeradzahliges Vielfaches unterscheiden.

EP3199919B1


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