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Europäisches Patentamt

APPARATUS FOR HIGH-SPEED PHASE SHIFTING FOR INTERFEROMETRIC MEASUREMENT SYSTEMS | VORRICHTUNG ZUR SCHNELLEN PHASENUMTASTUNG FÜR INTERFERROMETRISCHE MESSSYSTEME | APPAREIL POUR LE DÉPHASAGE À HAUTE VITESSE DE SYSTÈMES INTERFÉROMÉTRIQUES DE MESURE

Patentnummer:EP2399098B1
IPC Hauptklasse:G01B001125
Anmelder:
Erfinder:DILLON, Robert F. (0)
82 Brick Kiln Road, 10-302, Chelmsford, Massachusetts 01824, US
SINGH, Gurpreet (0)
81 Michigan Avenue, Providence, RI 02905, US
Anmeldung:23.02.09
Offenlegung:23.02.09
Patenterteilung:21.11.18

Abstract / Hauptanspruch
Described are a method and apparatus for high-speed phase shifting of an optical beam. A transparent plate having regions of different optical thickness is illuminated by an optical beam along a path of incidence that extends through the regions. The transparent plate can be moved or the optical beam can be steered to generate the path of incidence. The optical beam exiting the transparent plate has an instantaneous phase value according to the region in which the optical beam is incident. Advantageously, the phase values are repeatable and stable regardless of the location of incidence of the optical beam within the respective regions, and phase changes at high modulation rates are possible. The method and apparatus can be used to modulate a phase difference of a pair of coherent optical beams such as in an interferometric fringe projection system.

L'invention concerne un procédé et un appareil pour le déphasage à haute vitesse d'un faisceau optique. Une plaque transparente présentant des régions d'épaisseur optique différente est éclairée par un faisceau optique le long d'un trajet d'incidence qui se prolonge à travers les régions. La plaque transparente peut être déplacée ou le faisceau optique peut être guidé pour générer le trajet d'incidence. Le faisceau optique sortant de la plaque transparente présente une valeur de phase instantanée qui est fonction de la région sur laquelle le faisceau optique est incident. De manière avantageuse, les valeurs de phase sont reproductibles et stables quel que soit l'emplacement où le faisceau optique est incident dans les régions respectives, des changements de phase à des vitesses de modulation élevées étant possibles. Le procédé et l'appareil peuvent être utilisés pour moduler une différence de phase entre une paire de faisceaux optiques cohérents, comme dans un système interférométrique de projection de franges.

EP2399098B1


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