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Europäisches Patentamt

ACTUATABLE CAPACITIVE TRANSDUCER FOR QUANTITATIVE NANOINDENTATION COMBINED WITH TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY | BETÄTIGUNGSFÄHIGER KAPAZITÄTSWANDLER ZUR QUANTITATIVEN NANOVERZAHNUNG KOMBINIERT MIT DER ÜBERTRAGUNGSELEKTRONENMIKROSKOPIE | TRANSDUCTEUR CAPACITATIF ACTIONNABLE POUR UNE NANOINDENTATION QUANTITATIVE COMBINE A UNE MICROSCOPIE ELECTRONIQUE PAR TRANSMISSION

Patentnummer:EP1982408B1
IPC Hauptklasse:G01D0005241
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:08.02.07
Offenlegung:08.02.06
Patenterteilung:28.11.18

Abstract / Hauptanspruch
The invention relates to an actuatable capacitive transducer, the newly invented actuatable capacitive transducer enabling quantitative in-situ nanoindentation in a transmission electron microscope (TEM) for the first time. The quantitative in-situ TEM nanoindentation technique involves indenting a sample to acquire a quantitative force-displacement curve and simultaneously visualizing/recording a stream of TEM images that show how the sample deforms while being indented. This simultaneous capability permits, for example, a direct correlation of a specific transient feature of the force-displacement curve to the sample's sudden change in microstructure.

La présente invention concerne un transducteur capacitatif actionnable, ce nouveau transducteur permettant la nanoindentation in-situ dans un microscope électronique à transmission (TEM) pour la première fois. La technique de nanoindentation de TEM in-situ implique une indentation d'un échantillon pour acquérir une courbe de déplacement de forces quantitative et visualiser/enregistrer simultanément un flux d'image TEM montrant comment l'échantillon se déforme lorsqu'il est indenté. Cette capacité simultanée permet, par exemple, une corrélation directe d'une fonction transitoire spécifique de la courbe de déplacement de la force avec le changement soudain de l'échantillon dans la microstructure.

EP1982408B1


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