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Europäisches Patentamt

Verfahren und Vorrichtung zum Vermessen eines Messobjekts mit verbesserter Messgenauigkeit

Patentnummer:DE102015117276B4
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
Carl Zeiss Strasse 22, 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:
Anmeldung:09.10.15
Offenlegung:09.10.15
Patenterteilung:06.09.18

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren (100) zum Bestimmen einer Eigenschaft eines Messobjekts (14), insbesondere einer dimensionalen Eigenschaft des Messobjekts (14), mit den folgenden Schritten:
• Bereitstellen (102) einer Vorrichtung (10) mit einem Messobjektträger (12), wobei der Messobjektträger (12) eine Auflagefläche (13) zum Anordnen des Messobjekts (14) aufweist, und mit einer Bilderfassungseinrichtung (18), wobei die Bilderfassungseinrichtung (18) einen Bildsensor (20) und ein Objektiv (22) zum Abbilden des Messobjekts (14) auf den Bildsensor (20) aufweist, wobei das Objektiv (22) ein beidseitig telezentrisches Objektiv (22) ist, und wobei der Bildsensor (20) relativ zu der Auflagefläche (13) bewegbar ist;
• Anordnen (108) des Messobjekts (14) auf der Auflagefläche (13);
• Bewegen (110) des Bildsensors relativ zu dem Messobjekt (14) in einem bildseitigen Telezentriebereich (44) des Objektivs (22) derart, dass eine auf den Bildsensor (20) mittels des Objektivs (22) abgebildete Fokalebene (50) durch einen das Messobjekt (14) zumindest teilweise aufweisenden Abschnitt eines objektseitigen Telezentriebereichs (46) des Objektivs (22) bewegt wird;
• Erfassen (112) einer Mehrzahl von Bildern des Messobjekts (14) mittels der Bilderfassungseinrichtung (18) während des Schrittes des Bewegens des Bildsensors (20) relativ zu dem Messobjekt (14).

DE102015117276B4


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