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Europäisches Patentamt

METAL BODY SHAPE INSPECTION APPARATUS AND METAL BODY SHAPE INSPECTION METHOD | METALLKÖRPERFORMINSPEKTIONSVORRICHTUNG UND METALLKÖRPERFORMINSPEKTIONSVERFAHREN | DISPOSITIF D'INSPECTION DE FORME DE CORPS MÉTALLIQUE ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE FORME DE CORPS MÉTALLIQUE

Patentnummer:EP3179205B1
IPC Hauptklasse:G01B0011245
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:24.05.16
Offenlegung:29.05.15
Patenterteilung:05.09.18

Abstract / Hauptanspruch
[Object] To perform shape inspection of a metallic body in a simple way at higher speed with higher density.

[Solution] An apparatus of the present invention includes: a measurement apparatus configured to irradiate a metallic body with at least two illumination light beams, and measure reflected light separately; and an arithmetic processing apparatus configured to calculate information used for shape inspection of the metallic body on the basis of measurement results. The measurement apparatus includes a plurality of illumination light sources configured to emit strip-shaped illumination light having different peak wavelengths, and a plurality of monochrome line sensor cameras that have band-pass filters and are aligned vertically above a surface of the metallic body and set to capture images of the same portion of the metallic body by their respective shift lenses, the number of the monochrome line sensor cameras being the same as the number of the peak wavelengths of the emitted illumination light. At least two of the plurality of illumination light sources are provided in a manner that an angle formed by a normal direction to the surface of the metallic body and an optical axis of the first illumination light source is substantially equal to an angle formed by the normal direction and an optical axis of the second illumination light source and the two illumination light sources face each other with the line sensor cameras therebetween in a relative movement direction of the metallic body and the measurement apparatus.

La présente invention vise à mettre en œuvre une inspection de forme de corps métallique à une vitesse plus élevée, à une densité supérieure, et plus facilement. À cet effet, le dispositif selon la présente invention comprend un dispositif de mesure qui émet au moins deux faisceaux de lumière d'éclairage sur un corps métallique et mesure les faisceaux lumineux réfléchis d'une manière distinguable d'une autre, et un dispositif de traitement arithmétique qui calcule des informations utilisées dans l'inspection de forme du corps métallique sur la base du résultat de mesure. Le dispositif de mesure a une pluralité de sources de lumière d'éclairage qui émettent individuellement des faisceaux de lumière d'éclairage en forme de bande de différentes longueurs d'onde de crête, et une pluralité de caméras de détection linéaires monochromes qui sont agencées côte à côte verticalement au-dessus de la surface du corps métallique en nombre égal au nombre de longueurs d'onde de crête des faisceaux de lumière d'éclairage émis, chacune étant réglée de manière à capturer une image de la même section du corps métallique par une lentille à décalage que chacune comprend, et chacune ayant un filtre passe-bande. Au moins deux de la pluralité de sources de lumière d'éclairage sont agencées de façon à se faire face l'une par rapport à l'autre avec les caméras de détection linéaires entre elles dans la direction du mouvement relatif entre le corps métallique et le dispositif de mesure, avec l'angle formé par la direction normale de la surface du corps métallique et l'axe optique de la première source de lumière d'éclairage et l'angle formé par la direction normale et l'axe optique de la seconde source de lumière d'éclairage étant approximativement équivalents.

EP3179205B1


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