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Europäisches Patentamt

PROFILE MEASURING APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING A STRUCTURE. | PROFILMESSUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER STRUKTUR | APPAREIL DE MESURE DE PROFIL ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE

Patentnummer:EP2633268B1
IPC Hauptklasse:G01B001125
Anmelder:NIKON CORPORATION (0)
12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku; Tokyo 100-8331, JP
Erfinder:
Anmeldung:14.10.11
Offenlegung:27.10.10
Patenterteilung:26.09.18

Abstract / Hauptanspruch
A profile measuring apparatus is provided to be capable of carrying out an optimal measurement for various objects, even provided with a gate -shaped frame structure, with an optical measuring probe. The profile measuring apparatus includes a projection unit which projects a pattern on the object from a projection direction; a measurement unit which takes an image of the pattern from a direction different from the projection direction to measure a position on a surface of the object based on an image data obtained with the taken image; an object - rotation unit which rotates the object in two directions; and a pattern - rotation unit which rotates the pattern.

La présente invention concerne un appareil de mesure de profil capable de mesurer de manière optimale divers objets, ayant même une structure de cadre en forme de porte, avec une sonde de mesure optique. L'appareil de mesure de profil est équipé d'une unité de projection projetant un motif sur l'objet dans une direction de projection ; d'une unité de mesure qui acquiert une image du motif dans une direction différente de la direction de projection afin de mesurer une position sur une surface de l'objet en fonction de données d'image obtenues à partir de l'image acquise ; d'une unité de rotation d'objet qui fait tourner l'objet dans deux directions ; et d'une unité de rotation de motif qui fait tourner le motif.

EP2633268B1


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