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Europäisches Patentamt

Verfahren und Vorrichtung zur Messung einer Dezentrierung und Verkippung von Flächen eines optischen Elements

Patentnummer:DE102014208636B4
IPC Hauptklasse:G01B001114
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:08.05.14
Offenlegung:08.05.14
Patenterteilung:28.06.18

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zur Messung einer Dezentrierung (D) und Verkippung (V) von Flächen eines optischen Elements (1), dadurch gekennzeichnet, dass
- zumindest alle optisch genutzten und fassungsrelevanten Teiloberflächen (1.1 bis 1.5) einer Oberfläche des optischen Elements (1) und Referenzflächen des optischen Elements (1) vollflächig erfasst werden und in einem gemeinsamen Koordinatensystem zueinander referenziert werden und
- jeweils eine Oberflächenformabweichung der Teiloberflächen (1.1 bis 1.5) und Referenzflächen jeweils relativ zu einer zugehörigen, für das optische Element (1) hinterlegten Solloberfläche ermittelt wird,
- wobei aus der jeweiligen Oberflächenformabweichung jeweils eine Lage der Teiloberflächen (1.1 bis 1.5) und Referenzflächen in dem gemeinsamen Koordinatensystem ermittelt wird,
- wobei aus der Lage in Abhängigkeit einer Form der jeweiligen Teiloberfläche (1.1 bis 1.5) und Referenzfläche in dem Koordinatensystem zumindest eine Verkippung (V) und zumindest eine Dezentrierung (D) ermittelt werden.

DE102014208636B4


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