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Europäisches Patentamt

SURFACE-GEOMETRY MEASUREMENT METHOD AND DEVICE USED THEREIN | VERFAHREN ZUR MESSUNG EINER OBERFLÄCHENGEOMETRIE UND DARIN VERWENDETES VERFAHREN | PROCÉDÉ DE MESURE DE GÉOMÉTRIE DE SURFACE ET DISPOSITIF UTILISÉ POUR CELUI-CI

Patentnummer:EP2998693B1
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:10.03.14
Offenlegung:14.05.13
Patenterteilung:11.07.18

Abstract / Hauptanspruch
To provide a technique that can measure a surface profile of any test object in a nondestructive manner and noncontact manner, highly accurately, and in a wide tilt angle dynamic range.

In white light interference method using a dual beam interferometer, the technique is configured to be capable of changing a surface orientation of a standard plane with respect to an incident optical axis on the standard plane, acquires, while relatively changing the surface orientation of the standard plane with respect to a local surface orientation in any position on a test surface, a plurality of interferograms generated by interference of reflected light from the test surface and reflected light from the standard plane, and calculates the local surface orientation on the test surface from the interferograms to thereby measure a surface profile of the test surface.

L'invention concerne une technologie selon laquelle la géométrie de surface d'un objet étant inspecté peut être mesurée de manière non destructive, sans contact, avec grande précision, et avec une vaste gamme dynamique pour l'angle d'inclinaison. Une interférométrie en lumière blanche utilisant un interféromètre à deux faisceaux est effectuée, et l'orientation de surface d'un plan de référence est réalisée afin de pouvoir être changée par rapport à l'axe de la lumière incidente dessus. Lors du changement de l'orientation de surface relative dudit plan de référence par rapport à l'orientation de surface locale au niveau d'une position donnée sur une surface en cours d'inspection, une pluralité d'interférogrammes générés par interférence entre la lumière réfléchie en provenance de la surface en cours d'inspection et la lumière réfléchie en provenance du plan de référence sont acquis, et la géométrie de surface de la surface en cours d'inspection est mesurée en déterminant à partir desdits interférogrammes, l'orientation de surface locale de la surface en cours d'inspection.

EP2998693B1


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