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Europäisches Patentamt

Integrated magnetic field sensor and method for measuring the position of a ferromagnetic workpiece with an integrated magnetic field sensor | Integrierter Magnetfeldsensor und Verfahren für eine Messung der Lage eines ferromagnetischen Werkstückes mit einem integrierten Magnetfeldsensor | Capteur de champ magnétique intégré et procédé de mesure de la position d'une pièce à usiner ferromagnétique équipée d'un capteur de champ magnétique intégré

Patentnummer:EP2607857B1
IPC Hauptklasse:G01D000514
Anmelder:
Erfinder:HEBERLE, Klaus (0)
Feldackerweg 2, 79312 Emmendingen, DE
Anmeldung:17.12.12
Offenlegung:19.12.11
Patenterteilung:25.07.18

Abstract / Hauptanspruch
Integrierter Magnetfeldsensor (10), aufweisend einen Halbleiterkörper (30) mit einer Oberfläche und einer Rückfläche, und einen Metallträger (20), mit einer Vorderseite und einer Rückseite, wobei die Rückfläche des Halbleiterkörpers (30) mit der Vorderseite des Metallträgers (20) kraftschlüssig verbunden ist, und einen Hallsensor (40), ausgebildet an der Oberfläche des Halbleiterkörpers (30), mit einer Haupterstreckungsfläche, und einen Magneten (50) mit einem entlang einer ersten Fläche ausgebildeten ersten magnetischen Pol der eine senkrecht auf der ersten Fläche (55) ausgebildete Mittelachse (M) aufweist, wobei der Metallträger (20), der Magnet (50) und der Halbleiterkörper (30) in einem gemeinsamen Gehäuse (60) angeordnet sind und in dem Gehäuse (60) genau ein oder mindestens ein Hallsensor (40) angeordnet ist, und wobei die erste Fläche (55) des Magneten (50) senkrecht zur Haupterstreckungsfläche des Hallsensors (40) ausgebildet ist und die Mittelachse (M) parallel zu der Haupterstreckungsebene des Hallsensors (40) verläuft und die Mittelachse (M) senkrecht durch die Normale (N) der Haupterstreckungsfläche tritt, wobei die Normale (N) in dem Flächenschwerpunkt der Haupterstreckungsfläche steht und die Feldlinien des Magneten (50) im Wesentlichen parallel zu der Haupterstreckungsfläche des Hallsensors (40) verlaufen, sodass eine Hallspannung erzeugt wird, wenn mittels eines ferromagnetischen Werkstoffs (100) ein Teil der magnetischen Feldlinien senkrecht zu der Haupterstreckungsebene des Hallsensors (40) abgelenkt werden.

EP2607857B1


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