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Europäisches Patentamt

METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING THE SURFACE OF AN OBJECT | VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR INSPEKTION VON OBERFLÄCHEN EINES UNTERSUCHTEN OBJEKTS | MÉTHODE ET DISPOSITIF POUR L'INSPECTION DE SURFACE D'UN OBJET

Patentnummer:EP2850386B1
IPC Hauptklasse:G01B001130
Anmelder:ISRA Vision AG (0)
Industriestrasse 14, 64297 Darmstadt, DE
Erfinder:
Anmeldung:14.05.13
Offenlegung:16.05.12
Patenterteilung:25.07.18

Abstract / Hauptanspruch
Es werden ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Inspektion von Oberflächen (3) eines untersuchten Objekts (2) beschrieben, bei welchen die Oberfläche (3) mittels mindestens einer Beleuchtungseinrichtung (8) beleuchtet und mit mindestens einem Flächen-Bildsensor (6) aufgenommen wird, wobei die aufgenommenen Bilder einer Bildanalyseeinrichtung (11) zugeführt werden, welche dazu eingerichtet ist, Oberflächenanomalien als Fehlerbereiche in einer Detektion zu ermitteln sowie ggf. die Fehlerbereiche in einer Segmentierung zueinander oder gegen den Bildhintergrund abzugrenzen, zusammengehörige Fehlerbereiche in einer Regionenanalyse zusammen zu fassen und/oder aus Fehlerbereichen bzw. Fehlerregionen in einer Merkmalsextraktion charakteristische Fehlermerkmale abzuleiten, wobei der Flächen-Bildsensor (6) dreidimensional auf ein ausgewähltes Koordinatensystem (5) kalibriert ist und das untersuchte Objekt (2) mit der Oberfläche (3) relativ zu dem Flächen-Bildsensor (6) bewegt wird. Es ist vorgesehen, dass mittels einer dreidimensional auf das ausgewählte Koordinatensystem (5) kalibrierten Projektionseinrichtung (8) ein Muster (10) auf einen Bereich der Oberfläche (3) des Objekts (2) projiziert wird, welcher durch den Flächen-Bildsensor (6) aufgenommen wird, und dass jeweils die Position definierter Musterabschnitte des projizierten Musters (10) auf der Oberfläche (3) des Objekts (2) in dem ausgewählten Koordinatensystem bestimmt wird.

The invention relates to a method and a device for inspecting surfaces (3) of an examined object (2), wherein the surface (3) is illuminated by means of at least one illuminating apparatus (8) and recorded by means of at least one area image sensor (6), wherein the recorded images are fed to an image-analyzing apparatus (11), which is designed to detect surface anomalies as flaw areas in a detection process and optionally to delimit the flaw areas in a segmentation process with respect to each other or against the image background, to combine associated flaw areas in a regional analysis process, and/or to derive characteristic flaw features from flaw areas or flaw regions in a feature extraction process, wherein the area image sensor (6) is three-dimensionally calibrated to a selected coordinate system (5) and the examined object (2) having the surface (3) is moved relative to the area image sensor (6). A pattern (10) is projected onto a region of the surface (3) of the object (2) by means of a projection apparatus (8) three-dimensionally calibrated to the selected coordinate system (5), which region is recorded by the area image sensor (6), and the positions of defined pattern sections of the projected pattern (10) on the surface (3) of the object (2) in the selected coordinate system are determined.

L'invention concerne un procédé et un dispositif destinés à inspecter les surfaces (3) d'un objet analysé (2), consistant à éclairer la surface (3) au moyen d'au moins un dispositif d'éclairage (8) et à en réaliser une prise de vue au moyen d'au moins un capteur d'images de grande étendue (6), les images ainsi acquises étant transmises à un dispositif d'analyse d'image (11) qui est conçu pour identifier les zones d'erreur en détectant des anomalies de surface ainsi que pour soumettre les zones d'erreur le cas échéant à une segmentation visant à les délimiter les unes par rapport aux autres ou bien par rapport au fond d'image, et pour soumettre des zones d'erreur semblables à une analyse des régions visant leur regroupement et/ou à un processus d'extraction de propriétés visant à identifier des propriétés caractéristiques d'erreur à partir de zones d'erreur ou de régions d'erreur, le capteur d'images de grande étendue (6) étant étalonné tridimensionnellement en se référant à un système de coordonnées (5) sélectionné, et la surface (3) de l'objet analysé (2) étant déplacée par rapport au capteur d'images de grande étendue (6). Selon l'invention, on projette un dessin (10) sur une zone de la surface (3) de l'objet (2) au moyen d'un dispositif de projection (8) qui est étalonné tridimensionnellement en se référant au système de coordonnées (5) sélectionné, puis on réalise une prise de vue de ladite zone au moyen du capteur d'images de grande étendue (6), et on détermine la position, dans le système de coordonnées sélectionné, de chacune des zones de dessin définies lesquelles font partie du dessin (10) qui vient être projeté sur la surface (3) de l'objet (2).

EP2850386B1


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