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Europäisches Patentamt

Optische Vermessungsvorrichtung und Verfahren zur optischen Vermessung

Patentnummer:DE102014117498B4
IPC Hauptklasse:G01B001125
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
73447, Oberkochen, DE
Erfinder:
Anmeldung:28.11.14
Offenlegung:28.11.14
Patenterteilung:07.06.18

Abstract / Hauptanspruch
Optische Vermessungsvorrichtung (100), die umfasst:
- einen Projektor (110), der eine Lichtquelle (111) und eine Projektionsoptik (112) umfasst,
wobei die Projektionsoptik (112) eingerichtet ist, um ein von der Lichtquelle (111) erzeugtes vorgegebenes Lichtmuster (400) auf das Objekt (260) abzubilden,
- einen Detektor (120), der einen Lichtsensor (122) und eine Detektionsoptik (121) umfasst,
wobei die Detektionsoptik (121) eingerichtet ist, um das Objekt (260) auf den Lichtsensor (122) abzubilden,
- mindestens einen Prozessor (130), der eingerichtet ist, um die Lichtquelle (111) des Projektors (110) derart zu steuern, dass die Lichtquelle (111) das vorgegebene Lichtmuster (400) erzeugt,
wobei der mindestens eine Prozessor (130) weiterhin eingerichtet ist, um den Lichtsensor (122) derart zu steuern, dass der Lichtsensor (122) Bilddaten für ein Abbild des mit dem vorgegebenen Lichtmuster (400) beleuchteten Objekts (260) erzeugt,
wobei der mindestens eine Prozessor (130) weiterhin eingerichtet ist, um basierend auf den Bilddaten eine Ergebnisgröße zu bestimmen, die indikativ für eine Topografie des Objekts (260) ist,
wobei zumindest eine von der Projektionsoptik (112) und der Detektionsoptik (121) eine nicht-gnomonische Abbildungsfunktion aufweist,
wobei eine Verbindungsgerade zwischen der Lichtquelle (111) und dem Lichtsensor (122) einen Winkel mit zumindest einer von der optischen Achse (212) der Projektionsoptik (112) und der optischen Achse (222) der Detektionsoptik (121) einschließt, der im Bereich von -15° - +15° liegt,
wobei die Projektionsoptik (112) und die Detektionsoptik (121) derart angeordnet sind, dass die optische Achse (212) der Projektionsoptik (112) einen Winkel mit der optischen Achse (222) der Detektionsoptik (121) einschließt, der im Bereich von +170° -+190° liegt,
wobei die optische Vermessungsvorrichtung (100) weiterhin eine Trennblende (230) umfasst,
wobei die Trennblende (230) auf der Verbindungsgeraden zwischen der Lichtquelle (111) und dem Lichtsensor (122) angeordnet ist, wobei das vorgegebene Lichtmuster (400) ein ringförmiges Streifenmuster ist.

DE102014117498B4


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