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Europäisches Patentamt

Verfahren zur Bestimmung der Topographie einer Oberfläche eines Objekts

Patentnummer:DE102010019668B4
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:07.05.10
Offenlegung:07.05.10
Patenterteilung:09.05.18

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zur Bestimmung der Topographie einer Oberfläche (20) eines Objektes (11), bei dem ein von einer Lichtquelle (1) ausgehendes Lichtbündel über einen Kollimatorspiegel (4) kollimiert wird, mit dem kollimierten Lichtbündel ein Muster auf die Oberfläche (20) projiziert und mittels einer Kamera mit einem Kameraobjektiv mindestens zwei Bilder (26, 27a, 27b) einer Intensitätsverteilung des von der Oberfläche (20) reflektierten Lichtbündels bei mindestens zwei unterschiedlichen Fokuseinstellungen in einer Ebene (24) erfasst werden, die einen Abstand von der Oberfläche (20) aufweist,
wobei das Muster über eine strukturierte Maske (2) erzeugt wird, die im Strahlengang des Lichtbündels angeordnet ist, und
wobei die Topographie aus einem Vergleich der mindestens zwei Bilder (26, 27a, 27b) unter Berücksichtigung der Fokuseinstellungen bestimmt wird.

DE102010019668B4


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