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Europäisches Patentamt

MEASURING TOPOGRAPHY OF ASPHERIC AND OTHER NON-FLAT SURFACES | MESSUNG DER TOPOGRAFIE VON ASPHÄRISCHEN UND ANDEREN NICHT-EBENEN FLÄCHEN | MESURE DE LA TOPOGRAPHIE DE SURFACES ASPHÉRIQUES ET AUTRES SURFACES NON PLATES

Patentnummer:EP3092459B1
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:ZYGO CORPORATION (0)
Laurel Brook Road, ; Post Office Box 448, Middlefield; Connecticut 06455-0448, US
Erfinder:
Anmeldung:08.01.15
Offenlegung:09.01.14
Patenterteilung:02.05.18

Abstract / Hauptanspruch
Generating a composite image of a non-flat surface includes: acquiring, using a microscope, multiple images of different areas of the non-flat surface, where each image includes a region of overlap with at least one adjacent image, the microscope having sufficient resolution to image in three dimensions a microstructure on the non-flat surface having a lateral dimension of 10 microns or less and a height of 10 nm or less; determining, for each of the images, a set of rigid body parameters relating a position and orientation of the test object in the image to a common coordinate system, where the set of rigid body parameters is determined by fitting the resolved microstructure in the overlap region in the image with the corresponding microstructure in the overlap region of the adjacent image; and combining the images based on the sets of rigid body parameters to generate a composite image.

L'invention concerne la génération d'une image composite d'une surface non plate comprenant : l'étape consistant à acquérir, au moyen d'un microscope, de multiples images de différentes zones de la surface non plate, où chaque image comprend une région de chevauchement avec au moins une image adjacente, le microscope ayant une résolution suffisante pour imager en trois dimensions une microstructure sur la surface non plate ayant une dimension latérale de 10 microns ou moins et une hauteur de 10 nm ou moins; l'étape consistant à déterminer, pour chacune des images, un ensemble de paramètres de corps rigide se rapportant à une position et une orientation de l'objet testé dans l'image par rapport à un système commun de coordonnées, l'ensemble de paramètres de corps étant déterminé en plaçant la microstructure résolue dans la région de chevauchement dans l'image avec la microstructure correspondante dans la région de chevauchement de l'image adjacente; et l'étape consistant à combiner les images en fonction des ensembles de paramètres de corps rigides pour générer une image composite.

EP3092459B1


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