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Europäisches Patentamt

Optical positioning device | Optische Positionsmesseinrichtung | Dispositif optique de mesure de la position

Patentnummer:EP2765394B1
IPC Hauptklasse:G01D000526
Anmelder:Dr. Johannes Heidenhain GmbH (0)
83301, Traunreut, DE
Erfinder:
Anmeldung:27.01.14
Offenlegung:06.02.13
Patenterteilung:23.05.18

Abstract / Hauptanspruch
Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Erzeugung mehrerer phasenverschobener Abtastsignale bezüglich der Relativposition eines Faseroptik-Abtastkopfes und einer hierzu in mindestens einer Messrichtung beweglichen Reflexions-Maßverkörperung. Im Faseroptik-Abtastkopf ist eine Abtastplatte vor dem maßverkörperungsseitigen Ende einer Lichtleitfaser angeordnet. Es erfolgt eine wellenlängenabhängige Kodierung der phasenverschobenen Abtastsignale. Hierzu erfährt ein auf die Abtastplatte einfallendes Strahlenbündel eine Aufspaltung in mindestens zwei Teilstrahlenbündel, welche die Reflexions-Maßverkörperung beaufschlagen und anschließend zur Erzeugung der phasenverschobenen Abtastsignale wiedervereinigt miteinander interferieren. Die Teilstrahlenbündel legen zwischen der Aufspaltung und der Wiedervereinigung unterschiedliche optische Weglängen zurück ( Figur 1).

EP2765394B1


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