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Europäisches Patentamt

VERFAHREN ZUM UNTERSUCHEN EINES SUBSTRATES

Patentnummer:DE102011086467B4
IPC Hauptklasse:G01B001125
Anmelder:
Erfinder:Jeong, Joong-Ki (0)
Seoul, KR
Anmeldung:16.11.11
Offenlegung:19.11.10
Patenterteilung:29.03.18

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zum Untersuchen eines Substrates (150) mit einem eine dreidimensionale Form aufweisenden Zielobjekt (152), umfassend:
Projizieren von wenigstens zwei Musterlichtern auf das Substrat (150) mit Zielobjekt (152), wobei die wenigstens zwei Musterlichter mittels voneinander beabstandet angeordneter Musterlichtprojektoren (110) auf das Substrat (150) mit Zielobjekt (152) projiziert werden, und Erfassen der vom Substrat (150) reflektierten Musterlichter mittels einer Kamera (130);
Erhalten von Phasendaten (S110) pro Musterlichtprojektor (110), wobei die Phasendaten aus den von einem jeden Musterlichtprojektor (110) aufeinanderfolgend und phasenverschoben projizierten Musterlichtern erhalten werden;
Erhalten von Höhendaten (S120) pro Musterlichtprojektor (110) bezüglich des Substrates (150) mit Hilfe der Phasendaten pro Musterlichtprojektor (110);
Auswählen und Festlegen von einem der wenigstens zwei Musterlichtprojektoren (S130), dessen Höhendaten die höchste Zuverlässigkeit aufweisen, als Bezugsmusterlichtprojektor, wobei Sichtbarkeitsinformation und/oder Graustufeninformation, die als Parameter eine Höhe, Signal-Rausch-Verhältnis (SNR), Amplitude und/oder Durchschnittsintensität aufweisen, für die Auswahl des Musterlichtprojektors (S130) mit der höchsten Zuverlässigkeit herangezogen werden;
Modifizieren von Höhendaten (S140) verbleibender Musterlichtprojektoren (110), die zu Höhendaten des Bezugsmusterlichtprojektors in Bezug gesetzt werden, wobei das Modifizieren ein Erhalten von Höhenabweichungen zwischen den Höhendaten der verbleibenden Musterlichtprojektoren und den Höhendaten des Bezugsmusterlichtprojektors (110), und ein Subtrahieren der erhaltenen Höhenabweichung von den einzelnen Höhendaten der verbleibenden Musterlichtprojektoren (110) umfasst; und
Erhalten integrierter Höhendaten (S150) mit Hilfe der modifizierten Höhendaten.

DE102011086467B4


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