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THREE-DIMENSIONAL SHAPE MEASUREMENT METHOD AND THREE-DIMENSIONAL SHAPE MEASUREMENT DEVICE | VERFAHREN ZUR MESSUNG DREIDIMENSIONALER FORMEN UND VORRICHTUNG ZUR MESSUNG DREIDIMENSIONALER FORMEN | PROCÉDÉ DE MESURE DE FORME TRIDIMENSIONNELLE ET DISPOSITIF DE MESURE DE FORME TRIDIMENSIONNELLE

Patentnummer:EP2667150B1
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:19.01.12
Offenlegung:21.01.11
Patenterteilung:14.03.18

Abstract / Hauptanspruch
This three-dimensional shape measurement method comprises: a projection step for projecting an interference fringe pattern (F) having a single spatial frequency (fi) onto an object surface; a recording step for recording the pattern (F) as a digital hologram; and a measurement step for generating a plurality of reconstructed images having different focal distances from the hologram, and deriving the distance to each point on the object surface by applying a focusing method to the pattern (F) on each of the reconstructed images. The measurement step extracts the component of the single spatial frequency (fi) corresponding to the pattern (F) from each of the reconstructed images by spatial frequency filtering, upon applying the focusing method, and makes it possible to achieve a highly accurate measurement in which the adverse effect of speckles is reduced and the advantage of a free-focus image reconstruction with holography is used effectively.

L'invention porte sur un procédé de mesure de forme tridimensionnelle et un dispositif de mesure de forme tridimensionnelle dans lesquels l'holographie est utilisée, qui réalisent une mesure tridimensionnelle très précise de la forme d'un objet en mouvement. Ce procédé de mesure comprend : une étape de projection consistant à projeter une figure d'interférence (F) ayant une fréquence spatiale unique (fi) sur la surface d'un objet ; une étape d'enregistrement consistant à enregistrer la figure d'interférence projeté (F) sous la forme d'un hologramme numérique à l'aide d'un élément récepteur de lumière ; et une étape de mesure consistant à générer une pluralité d'images reproduites dans lesquelles la distance focale a été modifiée par rapport à celle de l'hologramme numérique enregistré, et obtenir la distance à chaque point sur la surface de l'objet par application d'un procédé de mise au point sur la figure d'interférence (F) sur chacune des images reproduites. L'étape de mesure comprend une étape d'extraction de figure d'interférence consistant à extraire la composante de la fréquence spatiale unique (fi) qui correspond à la figure d'interférence de chacune des images reproduites par filtrage de fréquence spatiale lorsque le procédé de mise au point est appliqué. L'étape d'extraction de figure d'interférence rend possible la réalisation d'une mesure très précise à l'aide du procédé de mise au point dans lequel l'effet de chatoiement peut être réduit et l'avantage de reproduction d'image à focale libre à l'aide de l'holographie peut être utilisé.

EP2667150B1


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