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Europäisches Patentamt

DEVICE, METHOD AND PROGRAM FOR SHAPE MEASUREMENT, AS WELL AS STRUCTURAL OBJECT PRODUCTION SYSTEM | VORRICHTUNG, VERFAHREN UND PROGRAMM ZUR FORMVERMESSUNG, SOWIE STRUKTUROBJEKTHERSTELLUNGSSYSTEM | DISPOSITIF, PROCÉDÉ ET PROGRAMME POUR LA MESURE DE FORME, AINSI QUE SYSTÈME DE PRODUCTION D'OBJET STRUCTUREL

Patentnummer:EP3023736B1
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:NIKON CORPORATION (0)
12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku; Tokyo 100-8331, JP
Erfinder:
Anmeldung:17.07.14
Offenlegung:19.07.13
Patenterteilung:28.03.18

Abstract / Hauptanspruch
The purpose of the present invention is to more quickly and easily measure the shape of an object to be measured. A shape measurement device includes: a probe including a projection optical system that projects a line-shaped pattern onto a surface of the object to be measured or projects a spot pattern while scanning in at least a linear scanning range, and an image capturing device that detects an image of the pattern projected onto the object to be measured; a movement mechanism that rotates the object to be measured and the probe relative to each other so that the object to be measured rotates relative to the probe around a rotation axis and moves at least one of the probe and the object to be measured relatively in a direction that intersects with a rotation direction in which the object to be measured rotates; a measurement region setting unit that sets a measurement region of the object to be measured; and an actual measurement region setting unit that sets an actual measurement region including an actual measurement start position and an actual measurement end position on the basis of the measurement region set by the measurement region setting unit. The actual measurement region setting unit sets whichever of the actual measurement start position and the actual measurement end position is closer to a rotation axis center to be closer to the rotation axis than the measurement region, or sets whichever of the actual measurement start position and the actual measurement end position is located further outward in the radial direction to be further from the rotation axis than the measurement range.

La présente invention vise à mesurer de manière plus rapide et aisée la forme d'un objet à mesurer. Un dispositif de mesure de forme a : une sonde comprenant un système optique de projection qui soit projette un motif en forme de ligne vers la surface de l'objet à mesurer, soit projette un motif de point à l'intérieur d'au moins une plage de balayage en forme de ligne, tout en balayant, et un dispositif d'imagerie qui détecte une image de motif projetée sur l'objet à mesurer ; un mécanisme de déplacement qui fait tourner de manière relative l'objet à mesurer et la sonde de telle sorte que l'objet à mesurer tourne par rapport à la sonde autour de l'axe de rotation et amène au moins soit la sonde, soit l'objet à mesurer à se déplacer de manière relative dans une direction intersectant la direction de rotation dans laquelle l'objet à mesurer tourne ; une unité de réglage de région de mesure qui règle une région de mesure pour l'objet à mesurer ; et une unité de réglage de région de mesure réelle qui règle une région de mesure réelle comprenant une position de début de mesure réelle et une position de fin de mesure réelle, sur la base de la région de mesure réglée par l'unité de réglage de région de mesure. L'unité de réglage de région de mesure réelle règle soit la position de début de mesure réelle, soit la position de fin de mesure réelle, celle qui est plus proche du centre d'axe de rotation, de telle sorte que celle-ci est plus proche de l'axe de rotation que la région de mesure, et règle soit la position de début de mesure réelle, soit la position de fin de mesure réelle, celle qui est positionnée sur l'extérieur dans la direction radiale, pour être davantage à l'opposé de l'axe de rotation que la plage de mesure.

EP3023736B1


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