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Europäisches Patentamt

SHAPE MEASURING DEVICE AND SHAPE MEASURING METHOD | FORMMESSVORRICHTUNG UND FORMMESSVERFAHREN | DISPOSITIF DE MESURE DE FORME ET PROCÉDÉ DE MESURE DE FORME

Patentnummer:EP2573510B1
IPC Hauptklasse:G01B001125
Anmelder:NIKON CORPORATION (0)
12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku; Tokyo 100-8331, JP
Erfinder:
Anmeldung:16.05.11
Offenlegung:19.05.10
Patenterteilung:14.02.18

Abstract / Hauptanspruch
A form measuring apparatus is provided for the purpose of reliably suppressing the influence of inadequate data on a measurement result. The form measuring apparatus includes: a projection section configured to project patterns having a common repetitive structure and differing in phase onto a measuring object in sequence, an imaging section configured to acquire a plurality of image data sets by taking an image of the measuring object with a different exposure light amount every time each of the patterns is projected onto the measuring object, a selection section configured to select a data set as an adequate data set in which all data fall within an effective brightness range over which the imaging section has linear input and output characteristics from the plurality of image data sets in each area on the measuring object, and a form calculation section configured to find a form of the each area based on the selected adequate data set.

Dans l'objectif de supprimer avec fiabilité l'influence de données incorrectes sur un résultat de mesure, l'invention concerne un dispositif de mesure d'une forme muni d'une unité de projection pour projeter séquentiellement des modèles qui ont une structure répétée commune et des phases différentes sur un objet à mesurer, une unité de capture d'image pour l'acquisition d'une pluralité d'ensembles de données d'image par capture d'une image de l'objet à mesurer à un degré d'exposition différent à chaque fois que chaque modèle est projeté sur l'objet à mesurer, une unité de sélection pour, pour chacune des régions de l'objet à mesurer, sélectionner, parmi la pluralité des ensembles de données d'images, un ensemble de données dont toutes les données se situent dans une plage de luminance efficace dans lequel la caractéristique d'entrée/sortie de l'unité de capture d'image est linéaire, comme ensemble de données correctes, et une unité de calcul de forme pour déterminer la forme de chaque région sur la base de l'ensemble de données correctes choisi.

EP2573510B1


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